一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115763328A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211367653.4(22)申请日2022.11.03(71)申请人中环领先半导体材料有限公司地址214000江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道(72)发明人蔡俊黄盛军菅明辉曹锦伟李仕权王彦君孙晨光(74)专利代理机构苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32474专利代理师冷泠(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)B08B9/42(2006.01)B08B9/44(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法(57)摘要本发明公开了一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法，其搬运方法包括以下步骤：S1、首先将需要清洗的片盒摆放固定到清洗架上，并且将清洗架整体进行移动到清洗房间内部，将清洗架移动到与清洗机上升口对应位置处，通过各种运动机构来实现清洗架的循环利用，清洗完成后将清洗架输送到下载口，通过下载口工人把清洗架上清洗完成的片盒取下；S2、然后通过工人把清洗架放到提升机构，在由提升机构通过伺服电机运行提供驱动的输出动力，进而带动模组实现清洗架向上运动。本发明通过自动化的输送清洗和上载以及下载，可以大大降低工人劳动力，有效节省清洗的时间，也避免工人在搬运清洗架时带来的安全隐患，大大提高了清洗整体效率和安全性。CN115763328ACN115763328A权利要求书1/1页1.一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法，其特征在于：其搬运方法包括以下步骤：S1、首先将需要清洗的片盒摆放固定到清洗架上，并且将清洗架整体进行移动到清洗房间内部，将清洗架移动到与清洗机上升口对应位置处，通过各种运动机构来实现清洗架的循环利用，清洗完成后将清洗架输送到下载口，通过下载口工人把清洗架上清洗完成的片盒取下；S2、然后通过工人把清洗架放到提升机构，在由提升机构通过伺服电机运行提供驱动的输出动力，进而带动模组实现清洗架向上运动，接着由传送机构通过滚轮把清洗架传送到平移机构位置，在由平移机构通过导轨驱动运行来使清洗架平移到下降机构位置；S3、最后下降机构通过伺服电机带动模组进行实时晕车，来使清洗架被输送下降到片盒清洗上载位置，再将需要清洗的片盒进行实时摆放固定到清洗架上，实现循环往复自动化运行。2.根据权利要求1所述的一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法，其特征在于：所述清洗架从上载到下载循环清洗一次所需要的时间为3‑5分钟，且清洗机一侧的清洗房间表面开设有传递窗。3.根据权利要求1所述的一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法，其特征在于：所述传送机构包括横向排布设置在清洗机下方的滚轮，且滚轮和导轨的驱动端皆设置有伺服电机。2CN115763328A说明书1/3页一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法技术领域[0001]本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法。背景技术[0002]在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，片盒又称收片盒一种不透光的扁平盒状物，附于摄影机上，一个35毫米片盒最多可以装到1200尺，约十三分钟，这是单一镜头的长度极限，在进行硅片生产加工的过程中需要使用片盒进行实时存放硅片，片盒在使用前需要通过清洗机进行清洗消毒处理。[0003]目前因传统片盒清洗机清洗架需循环利用一般都是由人工从下料口取下片盒然后在搬运到上料口以此来实现清洗架的循环利用，因清洗架全是都是由不锈钢打造具有一定的重量，在搬运的过程中极易导致一些不可预测的人身安全。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法，以解决上述背景技术中提出的目前因传统片盒清洗机清洗架需循环利用一般都是由人工从下料口取下片盒然后在搬运到上料口以此来实现清洗架的循环利用，因清洗架全是都是由不锈钢打造具有一定的重量，在搬运的过程中极易导致一些不可预测的人身安全的问题。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于片盒清洗机自动搬运清洗架的方法，其搬运方法包括以下步骤：[0006]S1、首先将需要清洗的片盒摆放固定到清洗架上，并且将清洗架整体进行移动到清洗房间内部，将清洗架移动到与清洗机上升口对应位置处，通过各种运动机构来实现清洗架的循环利用，清洗完成后将清洗架输送到下载口，通过下载口工人把清洗架上清洗完成的片盒取下；[0007]S2、然后通过工人把清洗