VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110270891A(43)申请公布日2019.09.24(21)申请号201910643945.8(22)申请日2019.07.17(71)申请人浙江台佳电子信息科技有限公司地址317000浙江省台州市临海市大洋街道经济开发区临海大道1968号(72)发明人罗远昭(74)专利代理机构杭州裕阳联合专利代理有限公司33289代理人姚宇吉(51)Int.Cl.B24B1/00(2006.01)B24B57/02(2006.01)B28D1/22(2006.01)B08B3/12(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图2页(54)发明名称VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺(57)摘要本发明提供的一种VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，包括以下步骤：1)将原料晶块用开料设备掏圆；2)将整块玻璃切割成所需要的加工尺寸；3)切割好的玻璃利用研磨设备进行研磨，然后进行边缘倒角；4)玻璃装在清洗夹具上，再放入纯水清洗槽内，用超声波清洗设备清洁玻璃表面；5)对玻璃进行表面抛光；6)将玻璃加热接近软化的温度，用空气将其迅速冷却；步骤3)中研磨装置包括工作台、内齿圈、转轴、四个游轮、第一转动电机、上研磨盘、下研磨盘和第二转动电机；本发明使得研磨抛光粉液更加均匀分撒在研磨盘上，配合研磨盘的相对运动，其研磨抛光粉液的分布更均匀，使得研磨抛光粉液容易出现晶片研磨的更均匀，厚度控制更准确。CN110270891ACN110270891A权利要求书1/2页1.一种VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：1)将原料晶块用开料设备掏圆；2)将整块玻璃切割成所需要的加工尺寸；3)切割好的玻璃利用研磨设备进行研磨，然后进行边缘倒角；4)玻璃装在清洗夹具上，再放入纯水清洗槽内，用超声波清洗设备清洁玻璃表面；5)对玻璃进行表面抛光；6)将玻璃加热接近软化的温度，用空气将其迅速冷却；7)使用覆膜机对加工好的玻璃进行包装；所述步骤3)中研磨装置包括工作台、内齿圈、转轴、四个游轮、第一转动电机、上研磨盘、下研磨盘和第二转动电机；所述内齿圈固定在所述工作台上；所述内齿圈的中心安装有转轴；所述转轴中心套设有齿轮，四个游轮外缘设有的咬合齿分别与所述内齿圈、齿轮啮合；所述转轴上装有下研磨盘，所述下研磨盘正上方安装有上研磨盘，所述上研磨盘传动连接第一转动电机；所述转轴传动连接第二转动电机；所述下研磨盘的表面积大于上研磨盘的表面积，所述下研磨盘的边缘装有研磨液喷洒装置，所述喷洒装置包括进液管，所述进液管的末端连接储液箱，所述进液管中部设有驱动泵，所述储液箱内存储有研磨抛光粉液；所述进液管末端装有喷洒头，所述喷洒头包括上半管体和长条状的下半管体，所述上半管体和下半管体组成柱状的喷洒头；所述上管体采用可拉伸的硅胶制成，所述下管体上端边缘设有硬质加强丝，所述上管体的边缘粘合在硬质加强丝上，所述上管体包括连接进液管的第一套体，所述第一套体末端还设有连接有第二套体，所述第二套体临近第一套体的一端设有第一拱形丝，所述第一拱形丝两端铰接硬质加强丝，所述第一拱形丝上黏连有第一底片，所述第一套体连接第一底片中部；所述第二套体末端还设有连接有第三套体，所述第三套体临近第二套体的一端设有第二拱形丝，所述第二拱形丝两端铰接硬质加强丝，所述第二拱形丝上黏连有第二底片，所述第二套体连接第二底片中部；所述第三套体的远离第二拱形丝的一端设有硬质的前挡片，所述第三套体的前端至少局部伸出下半管体。2.如权利要求1所述的VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，其特征在于，其中下管体由硬质塑料制成。3.如权利要求1所述的VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，其特征在于，所述下半管体临近管口的一端设有半圆形的第三拱形丝，其第三拱形丝顶部固定有分隔舌。4.如权利要求3所述的VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，其特征在于，所述分隔舌下部设有扰流件，所述扰流件由一对弯折片组成，一对弯折片一端结合在一起，另一端分别向外侧分叉；所述弯折片的结合部位于临近前挡片一侧。5.如权利要求4所述的VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，其特征在于，所述弯折片为弓形，一对弯折片的弓腹区域相互挤靠至一起。6.如权利要求5所述的VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，其特征在于，所述分割舌与扰流件一体成型。7.如权利要求1或2或3或4或5所述的VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，其特征在于，所述游轮的齿轮边缘经倒圆处理为无棱角的弧面。8.如权利要求1或2或3或4或5所述的VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，其特征在于，2CN110270891A权利要求书2/2页所述进液管上还设有电磁流量控制阀，用于控制进液管的流量。3CN110270891A说明书1/4页VR投显用晶圆级玻璃基片生产