二维角度调整样品操纵台.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110328003A(43)申请公布日2019.10.15(21)申请号201910593774.2(22)申请日2019.07.03(71)申请人上海科技大学地址201210上海市浦东新区华夏中路393号(72)发明人刘芳陈宇林柳仲楷(74)专利代理机构上海申汇专利代理有限公司31001代理人翁若莹柏子雵(51)Int.Cl.B01L9/02(2006.01)B01L7/04(2010.01)B01L7/00(2006.01)权利要求书2页说明书3页附图2页(54)发明名称二维角度调整样品操纵台(57)摘要本发明公开了一种二维角度调整样品操纵台，其特征在于，包括底座，底座上设有倾角传动机构，倾角传动机构一端与倾角驱动装置连接，另一端与主框架连接；主框架上设有面内旋转传动机构，面内旋转传动机构一端通过软轴与面内旋转驱动装置连接，另一端通过隔热连接筒与样品托盘连接。本发明的有益效果是：通过合理布置两个蜗轮蜗杆传动机构，实现了对样品两个自由度上的角度调整，满足了样品测量的需求；同时，通过设置隔热连接筒和传热辫，实现了高效的低温管理。CN110328003ACN110328003A权利要求书1/2页1.一种二维角度调整的样品操纵台，其特征在于，包括底座(1)，底座(1)上设有可绕自身轴线转动的倾角轴(2)，倾角轴(2)的一端与倾角调节蜗轮(16)连接，倾角调节蜗轮(16)与倾角调节蜗杆(15)配合连接，形成蜗轮蜗杆传动，倾角调节蜗杆(15)设于底座(1)上并能绕自身轴线转动，倾角调节蜗杆(15)通过传动轴与倾角驱动装置连接；倾角轴(2)的另一端与主框架(5)连接，主框架(5)内设有面内旋转蜗杆安装孔(502)和面内旋转蜗轮安装孔(504)，两个安装孔的轴线互相垂直，面内旋转蜗杆安装孔(502)中设有面内旋转蜗杆(9)，面内旋转蜗轮安装孔(504)中设有面内旋转蜗轮(8)，面内旋转蜗轮(8)与面内旋转蜗杆(9)配合连接，形成蜗杆蜗轮传动；面内旋转蜗轮(8)通过隔热连接筒(7)与样品托盘(6)连接，面内旋转蜗杆(9)通过软轴(21)与面内旋转驱动装置连接。2.根据权利要求1所述的一种二维角度调整样品操纵台，其特征在于，所述倾角轴(2)为一个台阶型轴类零件，倾角轴(2)的中间段与底座(1)上的圆形通孔配合，可绕自身轴线在圆形通孔内转动。3.根据权利要求2所述的一种二维角度调整样品操纵台，其特征在于，所述倾角轴(2)的一端伸入倾角调节蜗轮(16)的中心孔，并通过第一倾角固定螺钉(3)与倾角调节蜗轮(16)固定连接；倾角轴(2)的另一端伸入主框架(5)上的轴孔内，并通过第二倾角固定螺钉(4)与主框架(5)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种二维角度调整样品操纵台，其特征在于，所述倾角调节蜗杆(15)的两端设有倾角蜗杆支架(17)，倾角蜗杆支架(17)用螺钉与底座(1)固定连接，倾角调节蜗杆(15)可在倾角蜗杆支架(17)中绕自身轴线转动。5.根据权利要求1所述的一种二维角度调整样品操纵台，其特征在于，所述面内旋转蜗轮安装孔(504)内还设有凸肩，凸肩侧面设有环形定位槽(505)，所述面内旋转蜗轮(8)两端面上均设有环形定位槽，一端面的环形定位槽(801)与所述凸肩上的环形定位槽(505)相对，中间设有滚珠(11)，起到中心定位及减小摩擦的作用；另一端面上的环形定位槽(802)与蜗轮支撑板(10)上的环形定位槽(1001)相对，中间设有滚珠(11)，起到中心定位及减小摩擦的作用；蜗轮支撑板(10)与蜗轮压板(12)贴靠，蜗轮压板(12)与主框架(5)固定连接，将由面内旋转蜗轮(8)、蜗轮支撑板(10)和滚珠(11)组成的涡轮组件压紧在所述面内旋转蜗轮安装孔(504)内的凸肩上，限制了面内旋转蜗轮(8)的轴向移动，但不影响面内旋转蜗轮(8)在面内旋转蜗轮安装孔(504)中绕自身轴线转动。6.根据权利要求5所述的一种二维角度调整样品操纵台，其特征在于，所述蜗轮压板(12)通过面内紧固螺钉(14)与主框架(5)固定连接，面内紧固螺钉(14)与主框架(5)之间设有垫圈(13)，用于补偿大温差下零件形变导致的预紧力变化。7.根据权利要求1所述的一种二维角度调整样品操纵台，其特征在于，所述面内旋转蜗杆(9)两端设有轴承(18)，使得面内旋转蜗杆(9)可绕自身轴线转动，轴承(18)由轴承压板(19)固定，轴承压板(19)通过压板紧固螺钉(20)固定在主框架(5)上。8.根据权利要求1所述的一种二维角度调整样品操纵台，其特征在于，所述隔热连接筒(7)一端设有外螺纹，与面内旋转蜗轮(8)中心孔上的内螺纹配合连接，另一端设有内螺纹，与样品托盘(6)上的外螺纹配合连接。9.根据权利要求8