一种单晶硅原料高效清洗装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110639881A(43)申请公布日2020.01.03(21)申请号201810674738.4H01L21/02(2006.01)(22)申请日2018.06.27(71)申请人江苏晶品新能源科技有限公司地址225600江苏省扬州市高邮市送桥镇天山工业集中区(72)发明人陈春成戚建静(74)专利代理机构北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)11427代理人陈娟(51)Int.Cl.B08B3/08(2006.01)B08B3/10(2006.01)B08B13/00(2006.01)A61L2/10(2006.01)F26B23/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种单晶硅原料高效清洗装置(57)摘要本发明公开了单晶硅清洗技术领域的一种单晶硅原料高效清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽内腔对称设置有两组夹紧板，所述夹紧板内侧设置有放置槽，所述夹紧板的外侧壁设置有固定块，所述固定块底部滑动连接有支撑座一，所述螺杆的中部设置有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮啮合连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮的顶部设置有转动轴，所述转动轴贯穿清洗槽的顶部与从动链轮连接，所述从动链轮通过链条与主动链轮连接，所述主动链轮与驱动电机的电机轴固定连接，所述清洗槽的右侧底部设置有出水口，所述清洗槽的两端内壁设置有紫外线灯，该装置快速高效，同时乙醇溶液与单晶硅充分接触，使单晶硅的清洗效果更佳。CN110639881ACN110639881A权利要求书1/1页1.一种单晶硅原料高效清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)内腔对称设置有两组夹紧板(2)，所述夹紧板(2)内侧设置有放置槽(3)，所述夹紧板(2)的外侧壁设置有固定块(4)，所述固定块(4)底部滑动连接有支撑座一(5)，所述支撑座一(5)的底部设置有缓冲装置(6)，所述缓冲装置(6)的底部设置有支撑座二(7)，所述支撑座二(7)与清洗槽(1)内腔底部固定连接，所述清洗槽(1)内腔顶部设置有挂块(12)，所述挂块(12)的底部设置有螺杆(11)，所述螺杆(11)的外壁套接有两组滑块(10)，所述滑块(10)的前端外壁通过销轴设置有连接杆(8)，且连接杆(8)的中部插接有转轴(9)，所述转轴(9)前后两端与清洗槽(1)的内壁连接，所述连接杆(8)的底部通过销轴与固定块(4)的前端左侧相连接，所述螺杆(11)的中部设置有从动锥齿轮(13)，所述从动锥齿轮(13)啮合连接有主动锥齿轮(14)，所述主动锥齿轮(14)的顶部设置有转动轴(15)，所述转动轴(15)贯穿清洗槽(1)的顶部与从动链轮(16)连接，所述从动链轮(16)通过链条(17)与主动链轮(18)连接，所述主动链轮(18)与驱动电机(19)的电机轴固定连接，所述驱动电机(19)设置在清洗槽(1)的右侧端壁，所述清洗槽(1)的左侧设置有进水口(20)，所述清洗槽(1)的右侧底部设置有出水口(21)，所述清洗槽(1)的两端内壁设置有紫外线灯(22)。2.根据权利要求1的一种单晶硅原料高效清洗装置，其特征在于：所述缓冲装置(6)包括与支撑座二(7)顶部固定连接的底座(61)，所述底座(61)上设置有梯形块(62)，所述梯形块(62)的顶部设置有梯形槽(63)，所述梯形槽(63)内设置有与梯形槽(63)相匹配的梯形滑块(64)，所述梯形滑块(64)底部设置有压缩弹簧(65)，所述压缩弹簧(65)的另一端与梯形槽(63)底部固定连接，所述梯形滑块(10)的顶部设置有顶座(66)。3.根据权利要求1的一种单晶硅原料高效清洗装置，其特征在于：所述支撑座一(5)的顶部设置有燕尾滑槽，所述固定块(4)的底部设置有与燕尾滑槽相匹配的燕尾滑块。4.根据权利要求1的一种单晶硅原料高效清洗装置，其特征在于：所述螺杆(11)位于从动锥齿轮(13)左右两侧的外壁设置的螺纹旋向相反。5.根据权利要求1的一种单晶硅原料高效清洗装置，其特征在于：所述紫外线灯(22)内部设置有电阻丝，所述紫外线灯(22)的外壁涂有沥青层。6.根据权利要求1的一种单晶硅原料高效清洗装置，其特征在于：所述夹紧板(2)的一侧均设置有三组放置槽(3)，所述夹紧板(2)上设置有丝网。2CN110639881A说明书1/3页一种单晶硅原料高效清洗装置技术领域[0001]本发明涉及单晶硅清洗技术领域，具体为一种单晶硅原料高效清洗装置。背景技术[0002]在硅片的加工过程中，每一道工序都涉及到清洗，由于很多半导体分立器件是在硅研磨片表面直接制造或衬底扩散而成，因此，硅研磨片清洗质量的好坏将直接影响下一道工序，甚至影响器件的成品率和可靠性。目前，常规的半导体硅研磨片的清洗方法有两种：手洗和超声波