测量方法和设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN110709779B(45)授权公告日2022.02.22(21)申请号201880037363.9(72)发明人王德胜赵谦(22)申请日2018.05.28(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所(65)同一申请的已公布的文献号11256申请公布号CN110709779A代理人董莘(43)申请公布日2020.01.17(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)(30)优先权数据62/515,9212017.06.06US(56)对比文件CN102096331A,2011.06.15(85)PCT国际申请进入国家阶段日CN1892443A,2007.01.102019.12.05CN102057329A,2011.05.11(86)PCT国际申请的申请数据CN1683998A,2005.10.19PCT/EP2018/0639482018.05.28US2007061773A1,2007.03.15(87)PCT国际申请的公布数据审查员周勇WO2018/224349EN2018.12.13(73)专利权人ASML荷兰有限公司地址荷兰维德霍温权利要求书2页说明书22页附图9页(54)发明名称测量方法和设备(57)摘要一种方法，其涉及：获得使用图案化工艺在衬底上待形成的图案的轮廓的模拟(710)；确定评估点(740)在图案的所模拟的轮廓(710)上的位置，该位置与对应评估点(730)在图案的设计布局(700)上的位置在空间上相关联；以及产生与在评估点(740)在所模拟的轮廓(710)上的位置与对应评估点(730)在设计布局(700)上的位置之间的空间方位对应的电子信息，其中，与空间方位对应的信息被配置为确定评估点(760)在图案中的至少一部分的测量图像(720)上的位置，测量图像(720)上的评估点(760)与设计布局(700)上的对应评估点(730)在空间上相关联。CN110709779BCN110709779B权利要求书1/2页1.一种非暂态计算机可读存储介质，存储有一个或多个程序，所述一个或多个程序包括机器可读指令，所述机器可读指令被配置为使处理器引起方法的执行，所述方法包括：获得使用图案化工艺在衬底上待形成的图案的轮廓的模拟；通过硬件计算机系统确定评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的位置，所述位置与对应评估点在所述图案的设计布局上的位置在空间上相关联；以及通过所述硬件计算机系统产生电子信息，所述电子信息与在所模拟的所述轮廓上的所述评估点的所述位置和所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置之间的空间方位相对应，其中与所述空间方位对应的所述电子信息被配置用于确定评估点在所述图案的至少一部分的测量图像上的位置，所述测量图像上的所述评估点与所述设计布局上的所述对应评估点在空间上相关联。2.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中通过所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置是作为所述轮廓与所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置之间的基本上最短距离的所模拟的所述轮廓上的所述位置，所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置与所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置在空间上相关联。3.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中与所述空间方位对应的所述电子信息包括：所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置和/或所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置、以及在所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置与所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置之间的方向。4.根据权利要求3所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方向包括角度和斜率。5.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中与所述空间方位对应的所述电子信息包括：所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的位置、和所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置。6.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方法进一步包括：获得在衬底上形成的所述图案的至少一部分的测量图像；基于与所述空间方位对应的所述电子信息确定所述评估点在所述图案的至少一部分的所述测量图像上的所述位置，所述测量图像上的所述评估点与所述设计布局上的所述对应评估点在空间上相关联；以及基于所确定的所述位置输出空间参数信息。7.根据权利要求6所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方法进一步包括：确定所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置和与所述图案的所述至少一部分的所述测量图像上的所述评估点相关联的测量之间的距离，并且其中所述空间参数信息包括所确定的所述距离。8.根据权利要求6所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方法进一步包括：基于所述空间参数信息，执行表示所述