一种真空镀膜设备的产品装夹装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110857466A(43)申请公布日2020.03.03(21)申请号201810970194.6(22)申请日2018.08.24(71)申请人安徽纯源镀膜科技有限公司地址230088安徽省合肥市永和路99号一天电气F厂房101-A区(72)发明人张心凤尹辉夏正卫(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C16/458(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种真空镀膜设备的产品装夹装置(57)摘要本发明公开了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达，所述旋转驱动轴上套有偏压支架，且位于驱动齿轮的上方，本发明涉及真空镀膜设备技术领域,调节电压，使离子束流排出尖角效应的干扰，达到深孔内表面镀膜，复杂曲面镀膜的目的，该装置为两套独立的旋转偏压系统。CN110857466ACN110857466A权利要求书1/1页1.一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴（6）,其特征在于，所述旋转驱动轴（6）上套有镀膜保护挡板（7），所述镀膜保护挡板（7）上安装有第一套绝缘装置（8），所述旋转驱动轴（6）上套有第一轴承（9），所述第一轴承（9）外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件（9），所述旋转驱动轴（6）上套有驱动齿轮（2），所述驱动齿轮（2）与旋转驱动轴（6）之间设有第二套绝缘装置（3），所述驱动齿轮（2）边缘处啮合有驱动马达（1），所述旋转驱动轴（6）上套有偏压支架（12），且位于驱动齿轮（2）的上方，所述偏压支架（12）与驱动齿轮（2）之间设有第三套绝缘装置（11），所述偏压支架（12）上设有第二碳刷导电机构，所述第二碳刷导电机构上设有第二轴承（15），所述旋转驱动轴（6）下表面安装有旋转板（10），所述旋转板（10）上表面边缘处设有产品支架（4），所述旋转板（10）上表面边缘处且靠近产品支架（4）处设有偏压板（5），所述旋转板（10）上表面设有真空镀膜保护罩（13）。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述第一碳刷导电机构和第二碳刷导电机构均由碳刷（14）和弹簧（16）共同构成的。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述第二套绝缘装置（3）上设有旋转传感器（17）：该旋转传感器（17）用于感应速率。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述旋转板（10）下表面设有总固定板（18）：该总固定板（18）用于固定。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述驱动马达（1）公转速度0-20r/min。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述偏压板（5）与产品支架（4）的距离为1-50mm。7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述第一碳刷导电机构上设有偏压固定点（19）。2CN110857466A说明书1/3页一种真空镀膜设备的产品装夹装置技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备的产品装夹装置。背景技术[0002]所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用加热蒸发、磁控溅射、真空电弧或者化学气相沉积方式激发出等离子体，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。[0003]目前，只有1路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，偏压直接施加在产品上，由于尖角效应，无法镀制深孔产品内表面，因此设计一种真空镀膜设备的产品装夹装置很有必要。发明内容[0004]针对现有技术的不足，本发明提供了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，解决了现有的只有1路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，偏压直接施加在产品上，由于尖角效应，无法镀制深孔产品内表面的问题。[0005]为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达，所述旋转驱动轴上套有偏压支架，且位于驱动齿轮的上