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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110863186A(43)申请公布日2020.03.06(21)申请号201911249126.1(22)申请日2019.12.09(71)申请人济南晶众光电科技有限公司地址250000山东省济南市高新区开拓路1117号济南华联电缆有限公司院内一楼106室(72)发明人杨舒童(74)专利代理机构济南鲁科专利代理有限公司37214代理人姜月磊(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种激光高斯镜片镀膜工装及镀膜方法(57)摘要一种激光高斯镜片镀膜工装及镀膜方法,包括:齿轮盘,所述齿轮盘与驱动齿轮啮合连接,驱动齿轮与第一电机的输出轴键连接;主动齿轮,所述主动齿轮设在齿轮盘底部中心位置,设在齿轮盘上侧的第二电机的输出轴穿过齿轮盘与主动齿轮键连接,第二电机的输出轴与齿轮盘中心孔滑动配合;从动齿轮,所述从动齿轮包括相互啮合的若干个,安装在齿轮盘下表面,主动齿轮与其相邻的从动齿轮啮合连接;镜片夹持装置,所述镜片夹持装置包括安装在从动齿轮下侧的夹持套筒,夹持套筒底部的挡台与从动齿轮之间自下向上依次设有衍射弹钢片、垫圈、高斯镜片和压紧弹钢片,衍射弹钢片中心设有衍射孔。可镀产品数量多,均匀性好,成品率高,成本低。CN110863186ACN110863186A权利要求书1/1页1.一种激光高斯镜片镀膜工装,其特征在于:包括:齿轮盘,所述齿轮盘与驱动齿轮啮合连接,驱动齿轮与第一电机的输出轴键连接;主动齿轮,所述主动齿轮设在齿轮盘底部中心位置,设在齿轮盘上侧的第二电机的输出轴穿过齿轮盘与主动齿轮键连接,第二电机的输出轴与齿轮盘中心孔滑动配合;从动齿轮,所述从动齿轮包括相互啮合的若干个,安装在齿轮盘下表面,主动齿轮与其相邻的从动齿轮啮合连接;镜片夹持装置,所述镜片夹持装置包括安装在从动齿轮下侧的夹持套筒,夹持套筒底部的挡台与从动齿轮之间自下向上依次设有衍射弹钢片、垫圈、高斯镜片和压紧弹钢片,衍射弹钢片中心设有衍射孔。2.根据权利要求1所述的一种激光高斯镜片镀膜工装,其特征在于:所述夹持套筒与从动齿轮之间通过螺纹固定连接。3.根据权利要求1所述的一种激光高斯镜片镀膜工装,其特征在于:所述衍射孔为上宽下窄的喇叭形孔。4.一种激光高斯镜片镀膜方法,其特征在于:包括如下步骤:S1:启动真空镀膜机;S2:膜料蒸发器启动将膜料蒸发,通过玻璃观察窗观察镀膜材料的气化程度;S3:启动镀膜工装,通过旋转的齿轮盘带动其底部的若干个从动齿轮绕中心轴公转,同时,若干个从动齿轮在主动齿轮带动下自转,从动齿轮下侧安装有镜片夹持装置,实现镜片夹持装置在镀膜过程中的公转与自转;S4:膜料气化后,向上穿过镜片夹持装置附着在高斯镜片表面,形成自内向外由密到疏的膜层;S5:镀膜完成后,停止真空镀膜机,从镜片夹持装置中取出高斯镜片即可获得所需成品。2CN110863186A说明书1/3页一种激光高斯镜片镀膜工装及镀膜方法技术领域:[0001]本发明涉及高斯反射镜镜片镀膜技术领域,尤其涉及一种激光高斯镜片镀膜工装及镀膜方法。背景技术:[0002]高斯镜是一种可变反射率反射镜,也是一种梯度反射率镜,能够在不稳腔中提供更加稳定的激光模式,控制基模振荡而消除高阶模,这种高斯反射镜可以有效改善激光光束质量,特别是在低放大倍率情况下这种光束质量的改变更为明显。[0003]高斯镜片在使用时表面一般都要通过真空镀膜机进行镀膜,其原理是:蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。[0004]现有的高斯镜片镀膜工装,成品率低,每次镀的产品数量少,均匀性差,成本高,且一套工装只能镀一个指定产品,不同的产品需要更换不同的工装,所以每个产品价格很高,不能大量投入市场应用。[0005]综上,现有的加工方式严重制约了高斯镜片的应用和发展,成为行业内亟需解决的技术难题。发明内容:[0006]本发明为了弥补现有技术的不足,提供了一种激光高斯镜片镀膜工装及镀膜方法,可镀产品数量多,均匀性好,成品率高,成本低,解决了现有技术中存在的问题。[0007]本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是:[0008]一种激光高斯镜片镀膜工装,包括:[0009]齿轮盘,所述齿轮盘与驱动齿轮啮合连接,驱动齿轮与第一电机的输出轴键连接;[0010]主动齿轮,所述主动齿轮设在齿轮盘底部中心位置,设在齿轮盘上侧的第二电机的