一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110923652A(43)申请公布日2020.03.27(21)申请号201911387321.0(22)申请日2019.12.26(71)申请人北京大学深圳研究院地址518000广东省深圳市高新技术产业园区南区深港产学研基地大楼东座五楼(72)发明人盛立远(74)专利代理机构深圳市深可信专利代理有限公司44599代理人万永泉(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书3页说明书6页附图4页(54)发明名称一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置(57)摘要本发明公开了一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，包括基座及主转轴，主转轴上固定设置有承载架，承载架一端设置有可径向转动的第一中间转轴及第一丝辊转轴，承载架另一端设置有可径向转动的第二中间转轴及第二丝辊转轴，第一中间转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件，第二中间转轴外端与基座之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴与第一丝辊转轴之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴与第二丝辊转轴之间设置有第四齿轮传动组件，第一丝辊转轴上设置有第一丝辊，第二丝辊转轴上设置有第二丝辊。该种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置具有结构简单、性能稳定可靠、加工效率高、加工质量好、丝材表面涂层一致性高等优点。CN110923652ACN110923652A权利要求书1/3页1.一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：包括基座(1)及主转轴(11)，所述主转轴(1)上固定设置有承载架(2)，所述承载架(2)一端设置有可径向转动的第一中间转轴(31)及第一丝辊转轴(41)，承载架(2)另一端设置有可径向转动的第二中间转轴(32)及第二丝辊转轴(42)，所述第一中间转轴(31)外端与基座(1)之间设置有第一齿轮传动组件，所述第二中间转轴(32)外端与基座(1)之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴(31)与第一丝辊转轴(41)之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴(32)与第二丝辊转轴(42)之间设置有第四齿轮传动组件，所述第一丝辊转轴(41)上设置有第一丝辊(51)，所述第二丝辊转轴(42)上设置有第二丝辊(52)。2.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第一中间转轴(31)通过第一转轴轴承(311)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有用于安装所述第一转轴轴承(311)的第一轴承阶梯安装位(312)，所述第一转轴轴承(311)安装在所述第一轴承阶梯安装位(312)后，第一转轴轴承(311)的外圈固定于第一轴承阶梯安装位(312)中，第一转轴轴承(311)内圈与第一中间转轴(31)侧壁固定连接，所述承载架(2)侧部设置有用于固定第一转轴轴承(311)的第一轴承压板(313)，所述第一轴承压板(313)通过第一轴承压板螺栓(314)固定在承载架(2)侧部，第一轴承压板(313)的内沿压紧在第一转轴轴承(311)的外圈并将第一转轴轴承(311)限位在第一轴承阶梯安装位(312)中；所述第二中间转轴(32)通过第二转轴轴承(321)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有用于安装所述第二转轴轴承(321)的第二轴承阶梯安装位(322)，所述第二转轴轴承(321)安装在所述第二轴承阶梯安装位(322)后，第二转轴轴承(321)的外圈固定于第二轴承阶梯安装位(322)中，第二转轴轴承(321)内圈与第二中间转轴(32)侧壁固定连接，所述承载架(2)侧部设置有用于固定第二转轴轴承(321)的第二轴承压板(323)，所述第二轴承压板(323)通过第二轴承压板螺栓(324)固定在承载架(2)侧部，第二轴承压板(323)的内沿压紧在第二转轴轴承(321)的外圈并将第二转轴轴承(321)限位在第二轴承阶梯安装位(322)中。3.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述承载架(2)上部向内延伸有承载架第一上折板(21)及承载架第一下折板(23)，所述承载架第一上折板(21)上开设有第一丝辊轴上安装孔，所述第一丝辊轴上安装孔中设置有第一丝辊轴上轴承(411)，所述第一丝辊转轴(41)的上端固定安装在第一丝辊轴上轴承(411)的内圈，所述承载架第一上折板(21)上壁设置有第一上盖板(412)，所述第一上盖板(412)通过第一上盖板固定螺栓(413)固定在承载架第一上折板(21)上壁；所述承载架第一下折板(23)上开设有第一丝辊轴下安装孔，所述第一丝辊轴下安装孔中设置有第一丝辊轴下轴承(414)，所述第一丝辊转轴(41)的下端固定安装在第一丝辊轴下轴承(414)的内圈，所述承载架第一下