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用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置.pdf
2023-06-17
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雨巷****怡轩
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本发明提供了一种用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元、第一样品台和若干个支座，第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个支座位于第一样品台的下方用于支撑第一样品台，传动单元在外界驱动下能够带动第一样品台连续进给；该夹具可连续沉积片材面积大于沉积装置有效沉积范围的片材，极大得减少了沉积过程的一些中间步骤，大大提高了沉积效率、缩短了生产周期，降低了生产成本，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝的使用寿命，从而进一步降低了生产成本。本发明还提供一
2023-06-17
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用于片材沉积涂层的夹具及沉积装置.pdf
本发明提供了一种用于片材沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括驱动件、转轴和装夹件，驱动件与转轴连接并能够带动转轴转动，装夹件设置在转轴上，装夹件上还设有至少两个用于固定片材的固定件；该夹具能够同时装载多片片材，且在驱动件的带动下能够实现不同片材位置的变换，即沉积过程中一次可对多片片材进行涂层沉积，极大得减少了沉积过程的一些中间步骤，大大提高了沉积效率、缩短了生产周期，降低了生产成本，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝的使用寿命，从而进一步降低了生产成本。
2023-06-17
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用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置.pdf
本发明提供了一种用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该用于片材双面沉积涂层的夹具包括夹具本体和第一驱动件；夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与固定件连接的第二驱动件，第二驱动件能够随第一驱动件转动，从而带动片材翻转。本发明的夹具利用磁电感应力或磁力等作用力在不开炉情况下实现片材的翻转，在不改变炉子现有结构的前提下实现了片材双面涂层的连续沉积，使用该夹具双面沉积涂层效率高、成本低且易于实施。本发明还提供一种沉积装置，包括炉体，上述夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体
2023-06-17
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