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级联止挡装置、MEMS传感器.pdf
2023-08-20
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景山****魔王
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本发明提供了一种级联止挡装置、MEMS传感器，所述级联止挡装置，包括锚点、至少两个第一止挡单元和至少一个第二止挡单元，所述锚点与所述第一止挡单元接触，所述第一止挡单元与所述第二止挡单元依次间隔连接，所述第一止挡单元的数量比所述第二止挡单元的数量多一个；在垂直于所述级联止挡装置级联方向的平面上，所述第一止挡单元的投影轮廓位于所述锚点的投影轮廓内侧，所述第一止挡单元的投影轮廓位于所述第二止挡单元的投影轮廓内侧。本发明在MEMS传感器发生碰撞的时候能够起到缓冲保护的作用，避免粘连，提高传感器可靠性。
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