Laser_Interferometry_激光干涉仪原理及应用概述_SC.pdf

激光干涉仪
原理及应用概述

角度测量平面度测量线性测量

回转轴测量垂直度测量直线度测量
目录

简介1-3

测量和校准产品4-5

干涉测量法的原理6-9

波长补偿10-11

系统概述12

激光系统应用13

线性测量原理14-17

角度测量原理18-19

直线度测量原理20-21

垂直度测量原理22-23

平行度测量原理24-25

对角线垂直度测量原理26

平面度测量原理27

回转轴测量原理28

动态测量原理29-32

双轴激光测量33

系统组件及附件34-35

常见问题解答(FAQ)36-39

XL-80激光干涉仪系统主要规格40-41

参考42
简介

本应用指南全面介绍了干涉测量法和Renishaw的相关产品，供销售代表、经销商和客户使用。

公司简介公司宗旨Renishaw希望成为公认的行业和
社会的领导者和贡献者。
Renishaw公司是世界领先的计量Renishaw公司设计、制造和供应
解决方案供应商，致力于提高制造业最高质量和可靠性的计量系统以使全
我们希望以关爱、开放和诚实的
和科研的生产力。世界的用户能实现按溯源标准的几何方式实现我们的目标。
尺寸测量。
公司成立于年，提供坐标测
1973Renishaw是一个重视环保和有
量机、数控机床及电子和半导体行业我们提供的产品会提高您的产品责任感的公司。我们将努力确保我公
制造自动化系统的解决方案。产品包质量和效率，我们将通过优质的用户司各方面的业务不对环境产生不利影
括各种测头、校准、光栅、编码器、服务令全体客户满意。响。
数字化扫描及光谱系统。
我们的目标是不断鼓励创新，提
Renishaw坚信，成功源于专利和供前沿技术，以满足客户的要求。我
创新产品及工艺、高质量制造技术以们致力于通过不断开发产品和制造技
及为所有市场就近提供客户支持的能术，获得稳定的增长。
力—这依然体现了公司成立之初的朴
素理念：

Renishaw的NewMills总部
•创新的产品设计提供具有专利的突
破性解决方案
•创新的制造技术保证了性价比优异
的高质量产品
•优质的客户支持和服务，卓而不群
•通过新产品和扩大市场调研实现公
司的有机增长

1
简介

Renishaw的商业策略•Renishaw测头系统用于控制工序
历史－因创新而诞生
质量
•我们致力于通过不断开发专利产品
•针对制造方法的设计缩短了开发新
•1973年发明了世界上首个三和创新的制造技术
产品的时间间隔
维触发式测头，用以解决
•我们是世界公认的自动化、航天和
•在英国和爱尔兰设有四个机械和电
Olympus(Concorde)喷气零部件制造业的领导者和贡献者
子装配厂
发动机的燃油管测量问题
•在牙科、医学、电子和半导体市场
的份额不断增长
•通过专利创新技术实现有分公司所在地
在截至年月的财政年度销售
机增长•20066
澳大利亚奥地利巴西加拿大
额逾1.75亿英镑•••
年上市
•1983中国（北京、上海、广州、沈阳、
•研发和工程设计投资不断增长，•
青岛、成都）捷克法国德国
2006年研发费用占营业额16%以上•••
香港台湾印度爱尔兰
•随着越来越多的子公司和代表处的•••••
以色列意大利日本荷兰
成立，销售网络不断壮大•••
波兰俄罗斯斯洛维尼亚
•全球员工逾2000••••
韩国•西班牙

工艺革新
代表处所在地

•Renishaw制造自己的产品
匈牙利•马来西亚•泰国•土耳其
•获奖的RAMTIC制造系统
•Renishaw自动铣削、车削和检测
另有....
中心
超过61个经销商分布在45个国家/地区
•每天24小时/每周7天不间断运行

董事会主席兼首席执行
官DavidMcMurtry爵士
（上）、董事会副主席
JohnDeer（中）、所发
明的三维测头及相关专利
（左）
2
全球计量行业的领先者快捷的服务与支持

Renishaw设有7个产品部门：无论您身在何处，都能享受到应
•CMM–坐标测量机用产品和传感器用及产品支持
•机床–工件检测、工件找正、对刀•Renishaw在20多个国家/地区设有
及刀具破损检测测头办事处
•牙科和数字化扫描–用于逆向工程•专家型应用工程师对新应用及现有
及牙科应用的数字化扫描产品设备的支持提供建议
•激光和校准–激光干涉仪（包括激•服务快捷，让您的业务永不间断
光尺）、球杆仪及转台•很多产品提供可选的高级RBE（换
•光栅–直线光栅及圆光栅产品修）服务—我们在您提出请求的
•拉曼–光谱仪系统当天即可发出更换件
•测针–各种测头应用所需的测针•故障排除及常见问题解答，请登录
www.renishaw.com/support
新产品及市场开发

新产品：

•高速扫描系统
•CMM控制器