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一种缓冲力可调的Z轴下压机构.pdf
2023-08-19
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新槐****公主
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本发明属于半导体测试分选设备技术领域，尤其为一种缓冲力可调的Z轴下压机构，包括固定块，所述固定块上固定安装有伺服电机，所述固定块一侧固定设置有直线导轨，所述直线导轨侧面的滑块上固定安装有下压支板，本发明避免在吸附极薄IC芯片时，由于器件本身的厚度误差或设备动作异常造成行程过压，过大的冲击力导致IC芯片损坏或者内部隐裂等隐患；凸轮通过顶丝与伺服电机轴端紧固，下压杆通过角度转动实现下压杆的Z轴往复运动；下压支架通过螺钉紧固在直线导轨的滑块上；上抬复位拉簧作用于下压支板与机构固定块之间，使得凸轮与凸轮随动器高速
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