一种DMD倾斜扫描的高效数据处理方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115268232A(43)申请公布日2022.11.01(21)申请号202210952306.1(22)申请日2022.08.09(71)申请人深圳市鑫浩自动化技术有限公司地址518000广东省深圳市宝安区沙井街道后亭社区第二工业区27号1层(72)发明人蔡文涛龙洪秋(74)专利代理机构深圳国联专利代理事务所(特殊普通合伙)44465专利代理师曹利华(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种DMD倾斜扫描的高效数据处理方法(57)摘要本发明涉及激光直写曝光技术领域，具体为一种DMD倾斜扫描的高效数据处理方法。本发明采用主机服务器、SPIE数据处理模块、高速传输模块和数据处理模块等组合完成对图像数据的高效处理，利用主机服务器矢量图同步计算优势完成图像的仿真变换、倾斜和多个DMD需要的条带切割，将多个条带矢量图发送到SPIE数据处理模块进行栅格化同步处理，栅格化后的数据进行轮廓压缩，由高速传输模块传到数据处理模块中，数据处理模块在接收数据时进行分时同步操作，实现数据补零、轮廓填充、抽点合并、突发存储补零、混插等，最后再做帧化处理，将数据在DMD上显示，实现高速倾斜扫描功能。本发明可以更快地处理图形数据，使得高解析与高产能匹配。CN115268232ACN115268232A权利要求书1/1页1.一种DMD倾斜扫描的高效数据处理方法，包括主机服务器、SPIE数据处理模块、高速传输模块和数据处理模块，其特征在于：所述主机服务器将矢量图读至内存中，借用主机对浮点数操作的优势，对矢量图进行仿射变换、倾斜和条带分割的操作，所述仿射变换可以实现涨缩、旋转等操作，所述条带分割在于满足多个DMD同步扫描的需求；所述SPIE数据处理模块插在主机服务器的SPIE插槽中，每个SPIE数据处理模块可携带多个DMD终端，由高速传输模块连接，SPIE数据处理模块将分割的条带进行子区域分割、栅格化处理、轮廓压缩、数据发送等操作，这些操作可以做到分时同步；所述栅格化处理分扫描方向和步进方向解析，扫描方向的解析dpi由扫描轴运动反馈的最小分辨率倍数决定；步进方向的解析dpi由镜头倍率决定，同时又由细分因子n决定；所述数据处理模块收到轮廓压缩的数据后进行同步填充和双边补零，所述填充处理为每行数据都从0填充开始，轮廓压缩定义了翻转的位置信息，根据翻转位置信息可变换填0或1，紧接着进行抽点、混插、突发存储补零等操作，使得从数据栅格化到最后数据存入DDR中形成数据链的分时同步，满足现有倾斜扫描的数据量需求；所述抽点合并、混插操作是指在细分因子n的决定下步进方向DMD单点被细分了n份，需要为每一个DMD单点进行抽点取值，将这些值组合在一起，方便后期帧化处理；所述突发存储补零是指每行数据的长度与DDR单次存储长度匹配，达到高速存储/读取的目的；所述帧化处理是指利用FPGA根据DMD需要的行数N对DDR进行连续性地址数据读取，该行数N必须是细分因子n的倍数，每行数据对应不同的DMD行号，需要不同的截取数据起始地址，该偏移量每隔n行变动1个位，所有行数据都截取出来形成一帧图形，传给DMD驱动芯片，帧化指令根据扫描轴的位置反馈决定，即每隔一个扫描方向栅格化精度的倍数距离开启一次帧化，完成整个高速扫描过程。2.根据权利要求1所述的一种DMD倾斜扫描的高效数据处理方法，其特征在于：所述高速传输模块可使用USB3.0、千兆电网或万兆光纤网口，取决于系统实际数据量和成本。2CN115268232A说明书1/3页一种DMD倾斜扫描的高效数据处理方法技术领域[0001]本发明涉及激光直写曝光技术领域，具体为一种DMD倾斜扫描的高效数据处理方法。背景技术[0002]印刷电路板是目前电子产品之母，其制造工艺中最重要的制程之一是线路曝光，线路曝光决定了电路板的良率、线宽精度等。随着消费级电子产品越来越轻巧化，电路板线宽线距越来越细。尤其是在柔性电路板领域，传统曝光工艺中的菲林涨缩已严重制约了柔性线路板的品质，导致激光直接成像工艺快速获得认可。[0003]当前激光直接成像设备主要使用TI公司的DLP方案，类似于传统投影仪，将需要的线路直接成像在目标面上，可实现与基板同步涨缩。为追求制程更高的解析，通常将DMD倾斜，使得单颗像素在扫描垂直方向呈部分重叠状态。倾斜扫描变相地减小网格精度(提升解析精度)，然而会带来更大的数据量，影响激光直接成像曝光的效率，不利于该技术在电路板领域产业化。发明内容[0004]本发明提出了一种DMD倾斜扫描的高效处理方法，利用主机多核芯片、SPIE扩展等优势，将数据尽量成同步处理模式，让底层驱动DMD的FPGA处理数据变得简单可靠，实现DMD高速