一种两轴MEMS陀螺仪.pdf
英哲****公主
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一种两轴MEMS陀螺仪.pdf
本发明公开了一种两轴MEMS陀螺仪,包括对称设置于锚点左右两侧且位于X轴方向上的一组X轴质量块,以及对称设置于所述锚点上下两侧且位于Y轴方向上的一组Y轴质量块;所述X轴质量块、所述Y轴质量块以及所述锚点之间通过若干根弹簧梁相连。上述两轴MEMS陀螺仪,利用一套驱动部件便能够实现对于X轴和Y轴的角速度检测,从而节省了陀螺仪的内部空间,降低了成本。
MEMS陀螺仪.ppt
MEMS陀螺仪传感器MEMS简介市场观察发展报告说,MEMS市场在2007年增长百分之九,达到60亿美元,其中前30名制造商的收入总和有56亿美元,平均增长7个百分点。预计今年MEMS市场将增长11.1%,达到66.54亿美元。目前在汽车MEMS市场,压力计和加速度计还是占较大份额,但是随着对汽车安全性能要求越来越高,尤其是在北美和欧洲稳定性主控系统的安装率节节攀升,陀螺仪的市场增长率明显比前两类要快,在2011年预期达到10%。陀螺仪的功能陀螺仪的原理与传统的利用角动量守恒原理的陀螺仪相比,MEMS陀螺
MEMS陀螺仪介绍.pdf
MEMS陀螺仪介绍1什么是MEMS?MEMS是英文MicroElectroMechanicalsystems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技
一种MEMS陀螺仪及其制造工艺.pdf
一种MEMS陀螺仪,包括:测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片;所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及质量块;所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接;所述质量块与所述内框架通过所述第二弹性梁相连接。所述质量块和内框架之间设置有四组相互对应的梳状耦合结构。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明通过测量盖板硅片与测量体之间的平板电容的变化来计算出旋转的角速度。本发明具有检测灵敏度、准确度高等特点。
一种算法精准的MEMS陀螺仪.pdf
本发明公开了一种算法精准的MEMS陀螺仪,包括外壳与转动齿轮,所述外壳的内表面固定安装有外环,所述内环的内表面活动安装有转子,所述外环的上端外表面固定安装有一号连接杆,且一号连接杆的外表面远离外环的一端与外壳的上端外表面连接处固定安装有一号外环力矩器,所述一号外环力矩器的外表面活动安装有防护盖,且防护盖的内表面四周固定安装有防磁贴,所述防护盖的下端外表面设有滑槽。本发明所述的一种算法精准的MEMS陀螺仪,设有防磁贴、通流管道和控位块,能够减少电磁波对传感器造成的干扰,对转子起到润滑效果,并能提高陀螺仪测量