光学镀膜宽带膜厚监控系统.pdf
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光学镀膜宽带膜厚监控系统.pdf
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一种膜厚监控装置、镀膜设备及膜厚监控方法.pdf
本发明提供一种膜厚监控装置、镀膜设备及膜厚监控方法,通过设置多个晶振传感器,利用每个晶振传感器单独检测同一种膜材的实时厚度,使得晶振传感器不会受到不同膜材交替界面导致的不确定性影响,保证了晶振法膜厚监控精度。
基于DSP的光学膜厚监控系统设计.docx
基于DSP的光学膜厚监控系统设计设计基于DSP的光学膜厚监控系统摘要本文介绍了一种基于DSP的光学膜厚监控系统设计方案。该系统的主要目的是用于实时监测薄膜沉积过程中的膜厚变化,并进行快速反馈控制,以便调整沉积过程的参数,从而实现最终产品的质量控制。本文将详细介绍系统的硬件、软件设计原理和实现方法,并通过实验对系统进行了验证。关键词:光学膜厚监控系统;DSP;反馈控制;质量控制1.研究背景光学薄膜技术是一种应用广泛的制备方法,其重要性在于可以在材料表面形成几十到几百个纳米级别的膜层,从而实现对材料性质的调控
光学膜厚宽带监控关键技术研究的中期报告.docx
光学膜厚宽带监控关键技术研究的中期报告本研究旨在提出一种新的光学膜厚宽带监控方法,以实现高精度的薄膜厚度测量和控制。本报告为研究的中期报告,介绍了已完成的研究工作和进展,以及下一步的研究计划和目标。一、已完成的研究工作和进展1.构建了基于可见光谱的测量系统本研究采用可见光谱测量薄膜厚度,通过构建一套包括光源、样品架、光学器件和探测器的可见光谱测量系统,实现了对薄膜厚度的快速、准确的测量。2.研究了光学吸收和散射对测量误差的影响通过实验和理论分析,研究了光学吸收和散射对测量误差的影响,提出了相应的校正方法,
光学膜厚监控技术.docx
光学膜厚监控技术光学膜厚监控技术光学膜厚监控技术是指在光学薄膜制备过程中,通过一系列的检测手段实时、精确地监测光学膜的厚度,以达到理想的光学性能。由于光学薄膜在现代光学技术中的广泛应用,光学膜厚监控技术的发展对于提升光学器件的性能和品质至关重要。光学薄膜的制备过程中,需要保证光学膜的厚度及厚度的均匀性。常用的薄膜制备技术包括物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和溅射(Sputtering)等。其中最为广泛使用的制备技术为溅射,因其操作简便,易于控制,制备的薄膜也具有良好的均匀性和质量。然而,在溅