一种激光直写光刻机长辊式压板机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112764322A(43)申请公布日2021.05.07(21)申请号202011626210.3(22)申请日2020.12.30(71)申请人合肥芯碁微电子装备股份有限公司地址230088安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F三楼11层(72)发明人刘红现项宗齐陈东(74)专利代理机构合肥天明专利事务所(普通合伙)34115代理人奚华保(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称一种激光直写光刻机长辊式压板机构(57)摘要本发明公开了一种激光直写光刻机长辊式压板机构，包括压板部，压板部包括支撑翼板以及设置于支撑翼板下方的胶辊组件；胶辊组件包括转轴以及套接于转轴上的胶辊，转轴两端均通过线性导向轴与支撑翼板上下滑动连接，线性导向轴下端与转轴固定连接，线性导向轴上端与支撑翼板滑动连接，转轴与支撑翼板之间设置压缩弹簧，压缩弹簧套接于线性导向轴上，本申请采用长辊式压板机构，无需动力，靠吸盘自身运动的力量顶起长辊，在曝光区域两侧压住PCB板，避免了边缘压板机构导致中间鼓起、曝光区域不平整的现象，同时长辊结构可靠，无悬臂梁式压板机构使用过程中悬臂梁形变风险，整个结构简单，容易实现。CN112764322ACN112764322A权利要求书1/1页1.一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，包括压板部，所述压板部包括支撑翼板(15)以及设置于所述支撑翼板(15)下方的胶辊组件；所述胶辊组件包括转轴(2)以及套接于所述转轴(2)上的胶辊(1)，所述转轴(2)两端均通过线性导向轴(8)与所述支撑翼板(15)上下滑动连接，所述线性导向轴(8)下端与所述转轴(2)固定连接，所述线性导向轴(8)上端与所述支撑翼板(15)滑动连接，所述转轴(2)与所述支撑翼板(15)之间设置压缩弹簧(7)，所述压缩弹簧(7)套接于所述线性导向轴(8)上。2.根据权利要求1所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述支撑翼板(15)下端连接有连接板(16)，所述连接板(16)两端开始有通孔(9)，所述线性导向轴(8)贯穿所述通孔(9)。3.根据权利要求2所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述通孔(9)内设有直线轴承(10)，所述线性导向轴(8)插接于所述直线轴承(10)内，所述线性导向轴(8)上端延伸到所述连接板(16)的上方，所述线性导向轴(8)上端固定连接有挡片(13)。4.根据权利要求3所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述挡片(13)通过紧固螺钉(14)与所述线性导向轴(8)固定连接。5.根据权利要求3所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述挡片(13)与所述连接板(16)之间设有橡胶垫(11)、不锈钢圆环(12)，所述橡胶垫(11)、不锈钢圆环(12)套接在所述线性导向轴(8)上，所述橡胶垫(11)位于不锈钢圆环(12)的下端。6.根据权利要求1所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述转轴(2)上方设有支撑板(3)，所述支撑板(3)两端向靠近转轴(2)的方向延伸形成用于卡接所述转轴(2)的吊耳，所述转轴(2)两端与所述两端吊耳固定连接。7.根据权利要求6所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述支撑板(3)上端设有螺纹孔，所述线性导向轴(8)下端设有外螺纹，所述线性导向轴(8)通过外螺栓连接于所述支撑板(3)上端的螺纹孔内。8.根据权利要求7所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述线性导向轴(8)靠近所述支撑板(3)的一端设有弹簧座(6)，所述压缩弹簧(7)位于所述弹簧座(6)上端。9.根据权利要求1所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述胶辊(1)包括辊筒(102)以及包裹于所述辊筒(102)外部的辊胶层(101)，所述辊胶层(101)为橡胶或硅胶材质。10.根据权利要求9所述的一种激光直写光刻机长辊式压板机构，其特征在于，所述辊筒(102)套接在所述转轴(2)上，所述转轴(2)两端固定连接有用于对的所述辊筒(102)限位的限位器(5)。2CN112764322A说明书1/4页一种激光直写光刻机长辊式压板机构技术领域[0001]本发明涉及光刻机压板设备技术领域，具体是一种激光直写光刻机长辊式压板机构。背景技术[0002]图形曝光(Lithography)，又译为光刻，通过光化学反应，将图案转移到覆盖在半导体上的感光膜层上。激光直写光刻是利用软件输出的数据直接驱动激光直接成像装置，在PCB板上和其上的光致抗蚀剂反应，从而成像，再通过显影得到所需要的的图像。激光直写光刻的优点是无