多弧离子镀膜机.doc

宁波骏鹰真空科技有限公司
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JYD-1800多弧离子镀膜机方案书
设计平面图示

二、技术指标
1.真空室
1-1内尺寸Ø1800mmXH2000mm立式单开门。
1-2门上设置2个观察窗。
1-3室体采用304不锈钢。
1-4室体与室门采用水槽式方式冷却。
2抽气性能
2-1极限真空：8.0X10-4Pa
2-2工作真空：8.0X10-3Pa,≤20min
2-3升压率：0.68Pa\h

3转架运动形式
3-1“星轮”公自转方式。
3-2公转转速0-6转\分钟（转速可调）。
4,镀膜系统
4-1配置26个热阴极电弧靶（Ø100）.
4-2选用26台直流电弧电源（150A）.
4-3配用1台直流偏压电源（40KW）.
5加热系统
5-1加热器总功率18KW.
5-2使用6根加热器，每根3000W，不锈钢制造。
5-3温度自动控制，0℃-250℃可调
6冷却系统
6-1真空室体、大门、机械泵均独立阀门控制，具备欠压，断流控制保护。
6-2扩散泵与电弧靶有缺水断电自动保护功能，并且发出报警。
7充气系统
7-1采用3路气体质量流量控制器独立控制。
7-2选用不锈钢混气罐,使多种气体充分混合均匀后，再充入室体，有利于成膜。
8电控系统
8-1采用标准电柜2个（1个电控柜，1个电源柜）。
8-2选用PLC+触摸屏，手动、半自动、全自动操作控制。
8-3电器组件选用国内与国外知名品牌。
9主机总功率
设备总功率约130KW(三相四线+地线)。
10用户自备项目
10-1冷却水（15℃-25℃）；流量15-25T\H;压力0.15MPa-0.25MPa.
10-2130KW功率配电箱(三相四线+地线)。
10-3干燥压缩空气压力5-6KG.
11整机重量大约8500KG。
应用特点
1,本机适用于金属、陶瓷、玻璃等材料表面镀制各种硬质膜、金属化合物及装饰物膜。
2,用一台直流偏压电源可以进行镀膜之前的离子清洗与辅助工艺镀膜。
3.广泛用于工具、模具的超硬涂层，汽车轮毂、高尔夫、制表、酒店用品、卫生洁具、灯具、眼镜架、五件制品等；镀制IP仿金、IPS、IPG、IP黑，IP咖啡色、IP玫瑰色、IP蓝等。
4.不污染环境，清洁卫生，对人体无害，是替代水电镀的理想设备等。

主要配置
序号名称型号与规格数量单位备注1真空机组HL-150滑阀泵15KW（上海神工）2台2X-15旋片泵2.2KW（上海神工）2台ZJY-1200罗茨泵15KW（）1台KC-800扩散泵+冷阱（沈阳真龙）2套2真空室体室体Ø1800XH2000，304不锈钢钢制造1套单门，门上配2个观察窗转架，下装型室体内配装2套不锈钢衬板3阀门管道阀门用优质碳钢制造1套管道均采用不锈钢制造4转架系统镀膜旋转方式：公自转形式1套挂杆2套（挂具客户自制）转动电机功率：1.5KW1台（变频调速）5测量控制仪HY-9940B型复合真空计（北大）1套6多弧溅射靶电弧靶（配钛、不锈钢靶材各13件）26台7电控系统电控柜1台、电源柜1台1套主要电器采用国内外著名品牌日本三夌PLC+昆仑通态，10.4寸触摸屏手自动操作电源BD30直流偏压电源(40KW)1台电弧靶电源(150A)26台9水路汇水管用不锈钢制作、压力表、阀门、电磁阀等1套10气路选用品牌气动三联件与电磁阀门控制1套11气体控制流量计500、1000、2000、(SCCM)3套12
加热器
输出功率:18KW烘烤温度10℃-200℃
（自动控制）1套13报警系统多弧靶与扩散泵缺水短电保护1套水压、温度与流量、气压、机械泵缺相保护14随机文件使用说明书、平面安装图1套电路接线图零配件清单、技术指标验收清单
加工周期：
70个工作日（收到预付款之日起）。

运输方式：
简易包装，供货方负责装车（运费与卸货由买方负责）。
付款方式
总价：79万
预付款35%。设备出厂前（由买方调试检验合格后）余款65%一次性付清。
售后服务
供货方派工程技术人员协助安装、调试，买方提供必要的帮助与配合。全套设备免费保修12个月（设备正常保养与易损、易耗品除外）。
超过保修期后，我公司在合理的收费情况下继续为贵公司进行设备的终身维修服务。

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