一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110952063A(43)申请公布日2020.04.03(21)申请号201911209447.9(22)申请日2019.12.01(71)申请人王彦军地址200030上海市徐汇区梅陇路130号华东理工大学(72)发明人王彦军(51)Int.Cl.C23C14/32(2006.01)C23C14/50(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机(57)摘要本发明公开了一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机，包括真空炉本体，所述真空炉本体的内侧壁固定连接有铜环，所述真空炉本体的内侧壁转动连接有安装环，且铜环位于安装环和真空炉本体内侧壁之间，所述安装环上固定连接有靶环，且靶环与铜环接触。本发明通过电机带动输出轴的转动，进而带动安装环的转动，从而带动安装环上的靶环转动，由于磁场相同，则磁场对转动的靶环每处磨损的程度相同，避免靶材不能充分利用的问题；通过啮合齿带动第二齿轮转动的角度与铝板从一侧转动到另外一侧的角度相同，且通过第一弹簧的配合作用，使得铝板来回转动，避免现有技术中磁场对铝板进行定点镀膜时因磁场强度不同导致的镀膜均匀度不同的问题。CN110952063ACN110952063A权利要求书1/2页1.一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机，包括真空炉本体（1），其特征在于，所述真空炉本体（1）的内侧壁固定连接有铜环（2），所述真空炉本体（1）的内侧壁转动连接有安装环（3），且铜环（2）位于安装环（3）和真空炉本体（1）内侧壁之间，所述安装环（3）上固定连接有靶环（6），且靶环（6）与铜环（2）接触，所述真空炉本体（1）的内侧壁设有多个磁力装置；所述真空炉本体（1）的外侧壁固定连接有电机（4），所述电机（4）的输出端固定连接有输出轴（5），所述输出轴（5）贯穿真空炉本体（1）并向真空炉本体（1）内延伸，所述输出轴（5）的外侧壁通过传动机构与安装环（3）的底部传动连接；所述真空炉本体（1）的内底部转动连接有呈圆柱状的支撑柱（7）和设置在支撑柱（7）外侧呈中空设置的防护罩（8），所述支撑柱（7）和防护罩（8）的顶部固定连接有同一个呈圆盘状的刻度盘（9），所述防护罩（8）的外侧壁套设有复位的第一弹簧（10），所述第一弹簧（10）的两端分别与防护罩（8）的外侧壁和真空炉本体（1）的内底部固定连接；所述输出轴（5）远离电机（4）的一端通过调节机构与防护罩（8）的外侧壁连接；所述支撑柱（7）上设置有与磁力装置数量位置均对应的用于夹持的夹持装置；所述真空炉本体（1）的一侧设置有水箱（11），且水箱（11）上连通设置有进水管，所述水箱（11）内填充有水体，所述水箱（11）通过连通装置与真空炉本体（1）连通。2.根据权利要求1所述的一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机，其特征在于，所述安装环（3）上螺纹连接有多个固定螺丝，所述靶环（6）上开设有与固定螺丝相匹配的螺纹孔。3.根据权利要求1所述的一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机，其特征在于，所述磁力装置包括开设在真空炉本体（1）内侧壁上的安装槽，所述安装槽内安装有三个永磁铁（12），且位于中间的所述永磁铁（12）的磁性与两侧的永磁铁（12）磁性相反。4.根据权利要求1所述的一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机，其特征在于，所述传动机构包括固定套接在输出轴（5）外侧壁上的第一齿轮（13），所述安装环（3）的底部开设有多个与第一齿轮（13）相啮合的齿槽（14）。5.根据权利要求1所述的一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机，其特征在于，所述调节机构包括滑动连接在输出轴（5）远离电机（4）一端侧壁上的多个啮合齿（15），所述输出轴（5）远离电机（4）一端侧壁上开设有用于啮合齿（15）水平滑动的滑动槽，所述滑动槽的内侧壁通过第二弹簧（16）与啮合齿（15）连接，所述啮合齿（15）上设置有固定块（17），所述固定块（17）贯穿滑动槽并向滑动槽外延伸，所述固定块（17）的两端均开设有连接槽，所述连接槽的内底部通过第三弹簧（18）连接有卡块（19），所述卡块（19）的外侧壁和输出轴（5）远离电机（4）一端接触,所述防护罩（8）的外侧壁固定套接有与啮合齿（15）相啮合的第二齿轮（29）。6.根据权利要求1所述的一种用于铝板加工防偏转多弧离子复合镀膜机，其特征在于，所述夹持装置包括固定套接在支撑柱（7）上的第一连接杆（20）和转动连接在支撑柱（7）上的第二连接杆（21），所述防护罩（8）的外侧壁开设有与第一连接杆（20）和第二连接杆（21）对应的滑动口，所述第一连接杆（20）和第二连接杆（21）均转动连接有半夹紧板（30），其中一个所述半夹紧板（30）靠近