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半導體製程設備.ppt

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第四章真空幫浦Outline真空幫浦的定義、分類定義PumpingSpeed終極壓力(Ultimatepressure)真空幫浦原理：真空決定因素Effectivepressurerange真空幫浦之分類幫浦作用原理區分Ionizationeffects Ionpumps PhysicalorChemicalsorption sorptionpumps,cyropump,getteringpump 真空幫浦原理：抽氣過程真空幫浦工作範圍真空幫浦工作範圍真空幫浦依抽氣方式分類真空幫浦選用之要點各種幫浦的抽氣速率各種幫浦的相關功能正排氣式幫浦定義正氣式幫浦分類旋轉葉片式幫浦旋轉葉片式幫浦旋轉葉片式幫浦二級旋轉葉片式幫浦滑動葉片式幫浦旋轉柱塞式幫浦乾式真空幫浦 定義：在進氣、壓縮及排氣過程中，並沒有使用油脂來潤滑或密封，故可以避免油氣回流。 應用範圍：在FPD與半導體製程中使用或產生的氣體具有腐蝕性、毒性、可燃性、凝結性、反應性，所以傳統的密封式機械幫浦不適用於這兩個產業。發展不需要油脂密封的抽氣機制而他的操作壓力在1atm至10-3torr之粗抽，此為乾式幫浦之研發由來。 乾式與油封式幫浦乾式真空幫浦壓力性能比較魯式幫浦魯式幫浦魯式幫浦動作原理魯式幫浦抽氣速率魯式幫浦動作原理爪式幫浦爪式幫浦特性爪式幫浦特性爪式幫浦特性螺旋式幫浦螺旋式幫浦螺旋式幫浦窩捲式幫浦窩捲式幫浦窩捲式幫浦活塞式幫浦活塞式幫浦市面常見的乾式機械幫浦其他種幫浦其他種幫浦其他種幫浦Ballast使用Ballast使用Ballast使用動力式幫浦定義＆歷史基本原理(10/7)基本原理性能參數壓縮比壓縮比抽氣速率抽氣速率終極壓力終極壓力窩輪分子幫浦構造窩輪分子幫浦構造垂直式窩輪分子幫浦優缺點水平式窩輪分子幫浦優缺點混和式窩輪分子幫浦混和式窩輪分子幫浦窩輪分子幫浦窩輪分子幫浦窩輪分子幫浦窩輪分子幫浦抽氣系統窩輪分子幫浦抽氣系統抽氣率窩輪分子幫浦的選擇窩輪分子幫浦的選擇補充-窩輪分子幫浦套件補充-窩輪分子幫浦套件窩輪分子幫浦使用注意窩輪分子幫浦問題原因窩輪分子幫浦為來展望