预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/4
2/4
3/4
4/4

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究第六图书馆微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一“弱点”介绍一种基于压力芯片的惠斯顿电桥建立外接电阻补偿网络的数学模型利用MatLab优化工具箱提供的优化方法构建算法对补偿电阻求解实现对温度漂移的补偿。该方法更有助于基于硅压阻式压力芯片的OEM型产品的大规模量产。微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一“弱点”介绍一种基于压力芯片的惠斯顿电桥建立外接电阻补偿网络的数学模型利用MatLab优化工具箱提供的优化方法构建算法对补偿电阻求解实现对温度漂移的补偿。该方法更有助于基于硅压阻式压力芯片的OEM型产品的大规模量产。硅压阻式压力传感器漂移惠斯顿电桥补偿优化微纳电子技术孙凤玲于海超王金文方建雷杨永刚中国电子科技集团公司第四十九研究所哈尔滨1500012007第六图书馆第六图书馆www.6lib.com硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究百孙凤玲于海超王金文方建雷杨永刚中国电子科技集团公司第四十九研究所哈尔滨摘要:微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一“弱点”介绍一种基于压力芯片的惠斯顿电桥建立外接电阻补偿网络的数学模型利用优化工具箱提供的优化方法构建算法对补偿电阻求解实现对温度漂移的补偿。该方法更有助于基于硅压阻式压力芯片的型产品的大规模量产。关键词:硅压阻式压力传感器;漂移;惠斯顿电桥;补偿