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重离子辐照GaN能量为500keV剂量为5×1014/cm2的Au+辐照GaN及退火的X射线衍射分析图能量为500keV剂量为5×1015/cm2的Au+辐照GaN及退火的X射线衍射分析图Au辐照GaN的RBS/C研究TransportofIonsinMatterTransportofIonsinMatter