退火处理对ZnO薄膜结晶性能的影响.pdf
as****16
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
退火处理对ZnO薄膜结晶性能的影响.pdf
退火温度对ZnO薄膜晶体管电学性能的影响.pdf
万方数据退火温度对ZnO薄膜晶体管电学性能的影响洵1’2张新安1’2,张景文2,张伟风1,侯引言实验液晶与显示(Zn0)为沟道层的薄膜晶体管(znoT盯)。研究了不同温度退火处理对ZnO-TFT电学性1薄膜晶体管(Thin场效应晶体管的一种,是为适应全膜化集成电路存储器、探测器和气敏传感器等多个领域[1’2]。TFT是靠多数载流子传输电流的单极性器件,包括衬底、半导体沟道层、绝缘层、栅极、源极和漏极等几个组成部分,其中半导体沟道层的性质对器件性能和制备工艺有很大影响。在TFT不断寻求沟道层材料改进以满足其
退火处理对SnOx薄膜气敏性能的影响.pdf
利用椭偏仪研究氢气退火处理对ZnO-Ga薄膜光学性能的影响(英文).docx
利用椭偏仪研究氢气退火处理对ZnO-Ga薄膜光学性能的影响(英文)Abstract:ZnO-Gathinfilmshavemanypotentialapplicationsinoptoelectronicdevicesduetotheirexcellentopticalproperties.Inthisstudy,weinvestigatedtheeffectofhydrogenannealingontheopticalpropertiesofZnO-Gathinfilmsusinganellipsome
热处理工艺对纳米ZnO薄膜结晶取向及表面形貌的影响.docx
热处理工艺对纳米ZnO薄膜结晶取向及表面形貌的影响热处理工艺对纳米ZnO薄膜结晶取向及表面形貌的影响摘要:纳米氧化锌(ZnO)薄膜作为一种有着广泛应用潜力的半导体材料,其结晶取向和表面形貌对于其性能具有重要影响。本文通过探究热处理工艺对纳米ZnO薄膜结晶取向和表面形貌的影响,以期为其应用提供一定的理论指导。引言:纳米氧化锌(ZnO)薄膜具有优异的光电特性,广泛应用于光电器件、传感器等领域。而其性能的优劣主要取决于其结晶取向和表面形貌。热处理工艺能够有效地调控纳米ZnO薄膜的结晶取向和表面形貌,从而对其性能