TCO镀膜的心得.doc

TCO镀膜心得
1、概述
TCO（transparentconductingoxide）玻璃，即所谓的透明导电氧化物镀膜玻璃。它主要是在玻璃表面镀上一层透明的导电氧化物薄膜（主要包括In、Sn、Zn和Cd），使玻璃具有良好的电学性能，用于太阳能电池和平板显示器。
市场分析
从现在市面上的导电玻璃来看，ITO（氧化铟锡-IndiumTinOxide）导电玻璃仍然是平板显示器行业的主要玻璃电极产品。但随着近年来晶体硅价格的上涨推动了薄膜太阳能电池的发展，所以光伏用TCO玻璃电极的市场需求也随之增加。
从LOW-E到TCO
从LOW-E膜到TCO导电膜，它们所采用的设备基本都是同一套，不同点在于镀TCO薄膜，需要增加供氧设备，在稀释空气流中注入一定的氧气，增加氧含量。从TCO薄膜的成分主要是二氧化锡来看，增加氧含量主要是保证锡能够充分氧化形成二氧化锡机构。TCO薄膜功能层原料还是单丁基三氯化锡（MBTC）、三氟乙酸、H2O，阻挡层原料为SiH4、CO2、C2H4。
TCO玻璃的主要技术参数
光谱透过率
显然，TCO玻璃主要用于太阳能发电，所以我们希望能够充分利用太阳光，这就要求TCO镀膜玻璃一定要保持相对较高的透过率。
这样便能吸收更多的太阳光，提高转化利用率。下表是TCO玻璃的太阳光透射比数据：
表1TCO太阳光透射比
样品编号玻璃面1玻璃面2玻璃面3波长（nm）实测值%实测值%实测值%平均值%35037.39741.50141.58740.16240053.70857.42957.62656.25445060.46264.35164.0862.96450067.51870.32770.13169.32555070.16672.08672.05371.43560073.61575.44275.64774.90165072.81374.70674.09573.87170072.60173.20373.39873.06775073.52174.37574.20474.03380070.77772.59271.49171.62085067.20768.67767.69467.85990065.06365.8665.32265.41595064.12264.77264.27264.389100062.79363.49762.8263.037105060.77761.68860.84961.105110058.44559.458.52858.791115055.98556.98756.03456.335120053.10654.30853.0953.501125049.63751.09349.59250.107130045.66547.38945.51446.189135041.09742.94840.80741.617140036.06337.90435.63336.533145030.96532.71230.53231.403150025.77627.30125.37926.152155020.79222.04720.52121.120160016.26717.22316.13116.540165012.74713.45512.69412.965170010.0110.51110.02510.18217507.888.2177.9038.00018006.16.3766.1896.222从表1中，我们看以得到TCO玻璃的高透射比只要集中在可见光光谱范围和近红外的一部分，而这些都是太阳辐射能量集中的波段。
2）导电性能
就二氧化锡本征半导体而言，其导电性能较差，且受温度影响较大。所以为改善二氧化锡膜的导电性，就需掺杂（即为掺加微量元素）。在这里就是在二氧化锡中掺入氟，改善了其导电能力和温度稳定性。而从TCO玻璃的导电性来看，其最佳电阻应在5-10Ω/cm的范围内。
雾度
雾度，即透明或半透明材料的内部或表面由于光漫射造成的云雾状或浑浊的外观，它表征的是TCO玻璃对透射光的散射能力（即薄膜电池半导体层吸收光的能力）。其定义式为：
雾度=
从雾度的定义我们就知道其对于度量TCO玻璃的重要性。所以TCO玻璃要求有一定的雾度，其最佳范围在11%到15%之间。
TCO镀膜技术
从汽化尾气到供配气，再到镀膜参数，几乎每一项镀膜设备都影响着TCO玻璃的镀膜效果。所以要想保证有好的镀膜效果，设备及系统的稳定性是相当重要的。故在正式开气镀膜前都会进行一系列的设备检查与校对，为的就是保证镀膜过程中不会出现很大的波动。
另一个重要方面就是原料量的要求，显然应该保证在镀膜过程中原料供应的连续性与均匀性。
在镀膜过程中，我们需要关注许多参数，以及我们需要对出现的问题尽快解决。比如我们在镀膜过程中发现M流量不足，就需要先看是否是N2压力不够，如果是我们就需要尽快将N