TCO镀膜工艺.pdf

（二）、TCO镀膜玻璃生产工艺技术1、TCO镀膜玻璃技术综述TCO镀膜玻璃生产技术有磁控溅射、金属有机物化学气相沉积、喷雾热解、脉冲激光沉积、溶胶-凝胶法等方法。比较成熟的规模生产方式为在线镀膜（化学气象沉积如FTO玻璃）和离线镀膜（磁控溅射如AZO玻璃等）。不管是在线镀膜还是离线镀膜，TCO镀膜玻璃生产技术控制在少数国外厂商手中，如日本板硝子、旭硝子、美国AFG等；我国近年来虽然有多家研究机构和公司申请了TCO镀膜的发明专利，但仍未真正实现产业化，并且镀膜设备仍受国外生产商控制。高品质的太阳能TCO玻璃基本被日本的旭硝子、板硝子和美国的AFG垄断，其中日本旭硝子是全球FTO玻璃最大的供应商，拥有浮法在线金属有机物化学气相沉积镀膜的系统专利技术，生产成本低廉。国内的南玻集团、信义科技也在开发生产，但还没有形成生产规模，并且主要是离线方式生产。AZO、ITO、FTO三种TCO玻璃，技术性能对比：优点缺点ITO（In2O3：成本高；基板尺寸小；电导率高有毒；Sn）膜层硬；化学和力学抵方阻大；透过率偏低FTO抗性都很好（SnO2:F）原料易得，制造成本膜层偏软，镀膜后不能AZO（ZnO：Al）低廉，无毒，易于实现钢化。产品刻蚀后存放掺杂，性能指标好。时间短。2、各种镀膜技术简述2.1在线镀膜技术简述在线镀膜：就是在浮法玻璃生产线锡槽的上方，安装镀膜设备，一般采用APCVD（Atmosphericpressurechemicalvapordeposition常压化学气相沉积）工艺镀膜。APCVD技术特点如下：（1）通过反应、蒸发将金属氧化物沉积在加热的浮法玻璃表面；（2）工艺温度在400～700℃；（3）镀膜工艺集成在玻璃成型过程中；（4）工艺设备相对简单；（5）涂层与基体结合强度高；（6）会产生有害气体，增加生产成本。（7）目前FTO在线镀膜技术比较成熟，AZO在线镀膜正在研发之中，尚不成熟。2.2离线镀膜技术简介2.2.1工作原理磁控溅射镀膜的工作原理是：惰性气体在低压强下受电场的作用产生辉光放电，形成的离子轰击阴极表面产生溅射现象，溅射出的靶原子沉积在玻璃基片上就形成各种薄膜。当在放电气氛中充入活性气体时，溅射出的靶原子在到达基片时与活性气体反应而形成化合物膜。使用不同的靶材或不同的反应气体可以得到各种不同特性膜。2.2.2工艺流程2.2.3技术特点如下：（1）沉积层是在真空条件下获得的，膜层的纯度高；（2）沉积在真空条件下进行，没有有害气体排出，属于无污染技术；（3）根据用户要求，可方便控制工艺参数；（4）镀膜设备模块化设计，产能调整方便；（5）设备价格较贵。2.3TCO在线与离线镀膜的特点分析制造成性能指标设备投入工艺成熟度本膜层硬度高；镀膜后偏低（不含浮镀AZO膜不成可钢化；方阻大；雾在线法玻璃生产偏低熟，目前只能度调整困难；透过率线）镀FTO膜层。稍低。离线透过率略高；方阻偏高偏高比较成熟，可小；雾度调整容易；镀AZO膜层。膜层偏软，镀膜后不能钢化