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一种硅腐蚀液及其生产工艺.pdf
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一种硅腐蚀液及其生产工艺.pdf
本发明公开了一种硅腐蚀液，包括以下重量份的原料：氢氟酸8‑12份、硝酸70‑78份、去离子水15‑25份、复合缓蚀剂6‑13份。且本发明利用了吡啶‑4‑甲醛为底物，使其与甲苯、高锰酸钾、二乙烯三胺、硫脲逐步反应形成了复合缓蚀剂；该复合缓释剂通过分子中的氮原子、硫原子、分子机构的大π键与金属形成配位键或化学共价键，在金属表面形成一层致密的疏水膜，阻碍了溶液中的氢离子对金属的腐蚀，但是该复合缓释剂中的的氮原子、硫原子、分子机构的大π键不能与硅形成配位键或共价键，不能在硅表面形成保护膜，不影响腐蚀液对硅的腐蚀行
2023-08-04
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2023-08-04
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