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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113707743A(43)申请公布日2021.11.26(21)申请号202111009286.6H01L31/18(2006.01)(22)申请日2021.08.31B82Y10/00(2011.01)B82Y30/00(2011.01)(71)申请人昆山倩超亮光伏科技有限公司B82Y40/00(2011.01)地址215300江苏省苏州市昆山市周市镇金茂路888号(72)发明人董超邱泽亮(74)专利代理机构天津垠坤知识产权代理有限公司12248代理人赵玉琴于德江(51)Int.Cl.H01L31/0352(2006.01)H01L31/032(2006.01)H01L31/0336(2006.01)H01L31/0392(2006.01)H01L31/072(2012.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池及其制备方法(57)摘要本发明属于薄膜电池技术领域,尤其是一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池及其制备方法,针对能量转换率低的问题,现提出以下方案,包括光吸收层和FTO导电玻璃层,光吸收层由光吸收基层和纳米通道组成,所述光吸收基层的材料为三硫化锑,所述光吸收基层的材料存在形式为结晶型,所述纳米通道设有多个,多个所述纳米通道呈矩形阵列均匀的扦插在光吸收基层内,所述纳米通道为垂直取向,所述纳米通道采用ZnO纳米阵列和TiO2纳米阵列,所述ZnO纳米阵列和TiO2纳米阵列形成线型无机BHJs,所述光吸收层安装于FTO导电玻璃层表面。本发明获得高的能量转换效率,可以作为理想的电子受体材料和传输材料,制备工艺简单。CN113707743ACN113707743A权利要求书1/1页1.一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池,包括光吸收层(4)和FTO导电玻璃层(6),其特征在于,所述光吸收层(4)由光吸收基层(8)和纳米通道(7)组成,所述光吸收基层(8)的材料为三硫化锑,所述光吸收基层(8)的材料存在形式为结晶型,所述纳米通道(7)设有多个,多个所述纳米通道(7)呈矩形阵列均匀的扦插在光吸收基层(8)内,所述纳米通道(7)为垂直取向,所述纳米通道(7)采用ZnO纳米阵列和TiO2纳米阵列,所述ZnO纳米阵列和TiO2纳米阵列形成线型无机BHJs,所述光吸收层(4)安装于FTO导电玻璃层(6)表面。2.根据权利要求1所述的一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池,其特征在于,所述光吸收层(4)和FTO导电玻璃层(6)之间镶嵌有修饰层(5)。3.根据权利要求1所述的一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池,其特征在于,所述光吸收层(4)外部远离FTO导电玻璃层(6)一侧安装有光吸收材料叠加层(3)。4.根据权利要求3所述的一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池,其特征在于,所述光吸收材料叠加层(3)外部远离光吸收层(4)一侧安装有空穴传输层(2)。5.根据权利要求4所述的一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池,其特征在于,所述空穴传输层(2)外部远离光吸收材料叠加层(3)一侧安装有金电极(1)。6.根据权利要求1所述的一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池,其特征在于,所述8990ZnO纳米阵列采用ZnO纳米线和纳米棒制成,所述TiO2纳米阵列采用TiO2纳米线和纳米棒制成。7.一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:制备光吸收层(4),利用溶液加工的转换方法先将三硫化锑从非晶转换到结晶形态,即得到光吸收基层(8);8990S2:利用溶液法一步制备垂直取向的ZnO与TiO2纳米棒和纳米线阵列(NAs);8990S3:分散在溶液里的p‑型量子点填充ZnO与TiO2纳米棒和纳米线阵列形成直线型无机BHJs,即得到纳米通道(7);S4:将直线型无机BHJs即纳米通道(7)扦插入三硫化锑层即光吸收基层(8)内部制备得到光吸收层(4);S5:将光吸收层(4)安装于FTO导电玻璃层(6)的表面;S6:在光吸收层(4)和FTO导电玻璃层(6)之间镶嵌上修饰层(5);S7:先在光吸收层(4)外部远离FTO导电玻璃层(6)一侧安装上光吸收材料叠加层(3);S8:再在光吸收材料叠加层(3)外部远离光吸收层(4)一侧安装上空穴传输层(2);S9:最后在空穴传输层(2)外部远离光吸收材料叠加层(3)一侧安装上金电极(1),即可得到无机薄膜太阳电池。8.根据权利要求7所述的一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池的制备方法,其特征8990在于,所述S2中,ZnO纳米棒和纳米线阵列即为ZnO‑NAs,TiO2纳米棒和纳米线阵列即为TiO2‑NAs。2CN113707743A说明书1/5页一种微纳异质结高效无机薄膜太阳电池及其制备方法