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第四部分其它显微分析方法主要内容1俄歇电子能谱仪(AES)能级跃迁,使空位层的外层电子发射出去 俄歇电子能量具有特征值 近表面性质 能量很低俄歇电子产生的基本原理俄歇电子的能量电子能谱实例1: IN718合金的俄歇电子像及晶界俄歇电子能谱实例2 某合金钢的晶界脆断分析 注意问题: 必须在超高真空样品室内用液氮冷却,直接打断试样,以便提供未受污染的原始晶界表面 2场离子显微镜(FIM)1)场离子显微镜的结构2.用液氮冷却至深低温,减小原子的热震动,使原子图象平稳可辨别; 3.样品作为阳极(10-40kv),容器内壁通过电镀层接地); 4.样品上加高电压时,成像气体原子发生极化和电离,荧光屏可显示尖端表层原子的清晰图象.2)场致电离和原子成像成像气体离子受电场的加速而射向阴极,与观察屏相撞时,可激发光信号.3)图像的解释3扫描隧道显微镜(STM)1)STM与其它显微镜分辨率的比较2)STM工作原理隧道电流不是样品表面起伏的简单函数.它表征样品和针尖电子波函数的重叠程度.两种工作模式: A)恒电流 B)恒高度CO在Pt(111)面上吸附后重构像 a)CO;b)CO转变为CO2 4X射线光电子能谱分析(XPS)特点: 最广泛应用的表面分析方法之一; 主要用于成分和化学态的定性及定量分析。 测量原理: 用单色X射线照射样品,入射光子与样品原子相互作用,光致电离产生了光电子。这些光电子从产生处溢出表面,用能量分析器分析光电子的动能,可得X射线光电子能谱。典型XPS谱