非晶硅薄膜太阳能电池-PECVD.ppt

薄膜太阳能电池(非晶硅)非晶硅薄膜电池生产超声波玻璃清洗机（重要设备）（镀膜前清洗）激光划线机1（重要设备）预热炉PECVD真空沉积系统，即等离子体增强化学沉积(主要设备)冷却炉激光划线机2（重要设备）磁控溅射系统（主要设备）激光划线机3（重要设备）TCOTCO镀膜玻璃的特性及种类ITOFTOTCO光伏电池对TCO镀膜玻璃的性能要求光谱透过率导电性能雾度激光刻蚀性能耐气候性与耐久性非晶硅薄膜厚度均匀性对其透射光谱的影响计算过程介绍结论NIP型非晶硅薄膜太阳能电池在NIP太阳能电池中,采用适当晶化的晶化硅薄膜作为P型窗口层,晶化硅薄膜高的电导可以提高NIP结的内建电势,改善TCO膜和P型窗口层间的N/P界面隧穿特性,降低电池的串联电阻;另外,适当晶化的P型晶化硅薄膜可以提高窗口层的光学带隙,得到高的开路电压和短路电流,从而得到高的光电转换效率。但是,在非晶硅(a-Si)层表面生长P型晶化硅薄层非常困难,即使在很高的H稀释率下,在a-Si层表面生长的P型晶化硅薄层仍然极有可能是非晶结构。如何处理好I/P界面,在a-Si表面生长出合适的P型晶化硅薄膜,是制备优质的NIP型a-Si电池的关键问题之一。
在NIP型a-Si太阳能电池的研究中,使用晶化硅薄膜作为电池窗口层,显著提高了电池的开路电压和转换效率;国内在该领域也取得了相当的进展,但由于制备工艺复杂和对设备性能的高要求,目前还没有制备出高效率NIP电池的报导.
实验