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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利说明书 (10)申请公布号CN113681436A (43)申请公布日2021.11.23 (21)申请号CN202111126156.0 (22)申请日2021.09.26 (71)申请人温州大学 地址325035浙江省温州市瓯海高教园区温州大学 (72)发明人冯铭张泽林张祥雷陈芝向李偲偲周宏明 (74)专利代理机构11569北京高沃律师事务所 代理人李胜强 (51)Int.CI B24B29/02(20060101) B24B31/112(20060101) B24B31/14(20060101) B24B31/12(20060101) B24B1/00(20060101) 权利要求说明书说明书幅图 (54)发明名称 一种抛光装置及其抛光方法 (57)摘要 本发明公开一种抛光装置及其抛光 方法,包括径向充磁的磁铁以及无磁性的 载液板,所述载液板的一面靠近所述磁铁 的轴向端面,所述载液板的另一面在所述 磁铁的磁场作用下吸附有磁响应抛光垫, 所述磁铁和所述载液板均能够转动,所述 磁响应抛光垫包括吸附在所述载液板上的 磁性颗粒以及由外部供给的磨粒;本发明 在径向充磁的磁铁的一端设置载液板,利 用磁铁的旋转磁场吸附磁响应抛光垫,从 而利用旋转磁场形成一个可恢复形状的磁 响应抛光垫,同时,可以由外部向磁响应 抛光垫补充磨粒,在载液板转动的基础 上,能够形成不间断的可恢复形状的抛光 过程,能够有效贴合复杂的曲面实现高效 抛光。 法律状态 法律状态公告日法律状态信息法律状态 2021-11-23公开公开 2021-12-10实质审查的生效实质审查的生效 2022-10-21授权发明专利权授予 权利要求说明书 【一种抛光装置及其抛光方法】的权利说明书内容是......请下载后查看 说明书 【一种抛光装置及其抛光方法】的说明书内容是......请下载后查看