一种低浓度腐蚀性气体动态配气系统及配气方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113607529A(43)申请公布日2021.11.05(21)申请号202110972943.0(22)申请日2021.08.24(71)申请人山东非金属材料研究所地址250031山东省济南市天桥区田家庄东路3号(72)发明人张文申许峰荀其宁侯倩倩刘霞宋磊李胜凯朱天一冀克俭(74)专利代理机构山东祺智知识产权代理有限公司37361代理人孟繁修(51)Int.Cl.G01N1/28(2006.01)G01N33/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称一种低浓度腐蚀性气体动态配气系统及配气方法(57)摘要本发明公开了一种低浓度腐蚀性气体动态配气系统及配气方法，将待稀释的腐蚀性气体经减压阀减压后，到达压力调节器，经压力调节后到达电磁阀，通过电磁阀使气体进入音速喷嘴，通过音速喷嘴组合控制流量，并经背压阀进入混合室；稀释气体经减压阀减压后进入纯化器纯化，纯化后的稀释气体经电磁阀进入质量流量控制器，经流量控制后进入混合室；待稀释的腐蚀性气体和稀释气体在混合室中混合，经电磁阀、流量计、出口输出目标低浓度腐蚀性气体。本发明采用音速喷嘴组合与质量流量控制器相互组合的配气方式，针对腐蚀性气体组分制备10‑9～10‑6mol/mol的混合标准气体，降低低浓度腐蚀性气体的吸附性，使稀释后的低浓度标准气体的准确性高。CN113607529ACN113607529A权利要求书1/1页1.一种低浓度腐蚀性气体动态配气系统，其特征在于，包括腐蚀性气体通路、稀释气体通路和混合气体通路；所述的腐蚀性气体通路包括依次连接的第一减压阀、压力调节器、第一电磁阀、音速喷嘴装置、背压阀；所述的稀释气体通路包括依次连接的第二减压阀、纯化器、第二电磁阀、质量流量控制器装置；所述的混合气体通路包括依次连接的混合室、第三电磁阀、流量计和出口；腐蚀性气体经腐蚀性气体通路进入混合室，稀释气体经稀释气体通路进入混合室。2.根据权利要求1所述的动态配气系统，其特征在于，所述的音速喷嘴装置由6个不同流量的音速喷嘴并联组合而成。3.根据权利要求2所述的动态配气系统，其特征在于，所述6个音速喷嘴的流量分别为20mL/min、40mL/min、80mL/min、160mL/min、320mL/min、640mL/min。4.根据权利要求1所述的动态配气系统，其特征在于，所述的纯化器中添加催化剂和吸附剂。5.根据权利要求1所述的动态配气系统，其特征在于，所述混合室内设置多组挡板使混合气体通过来回折返混匀。6.根据权利要求1所述的动态配气系统，其特征在于，所述稀释气体通路中的质量流量控制器装置由两个并联的质量流量控制器组成。7.根据权利要求1所述的动态配气系统，其特征在于，所述的腐蚀性气体为硫化氢、氯气、氯化氢和氟化氢中的一种以上。8.一种利用权利要求1～7任一项所述的低浓度腐蚀性气体动态配气系统的配气方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将待稀释的腐蚀性气体经第一减压阀减压后，到达压力调节器；经压力调节后，到达第一电磁阀；通过第一电磁阀使待稀释的腐蚀性气体进入音速喷嘴装置，通过音速喷嘴装置组合控制流量，并将气体经背压阀进入混合室；(2)开启稀释气体的接入，将稀释气体经第二减压阀减压后进入纯化器进行纯化，纯化后的稀释气体经第二电磁阀进入质量流量控制器装置，经流量控制后进入混合室；(3)步骤(1)中的待稀释的腐蚀性气体和步骤(2)中的稀释气体在混合室中进行混合，经第三电磁阀、流量计、出口输出目标低浓度腐蚀性气体。2CN113607529A说明书1/5页一种低浓度腐蚀性气体动态配气系统及配气方法技术领域[0001]本发明属于气体检测分析技术领域，具体涉及一种低浓度腐蚀性气体动态配气系统及配气方法。背景技术[0002]标准气体具备评价分析方法的准确性、校准仪器和标定气体组分含量的特点，已被广泛应用于产品质量监督和质量控制、仪器仪表的校准、大气环境监测、医疗卫生、分析方法的评价和军工化学武器等领域。随着科学技术的发展，对标准气体的种类和组分含量范围要求越来越广，对标准气体制备的方法及其量值的准确度、稳定性和品质的要求也越来越高。因此，对标准气体制备技术进行深入的研究是非常必要的。[0003]通常所使用的标准气体按配制方法分为两大类：静态配气法和动态配气法。静态配气法：对于那些吸附性低、分子间作用力弱、性质接近理想气体的混合气体的制备，通常采用静态容量配气法。其原理是先量取一定量的气体或液体，然后用稀释气体加以稀释达到一定容积或在容器中进行挥发，最后根据所取待配组分的量、稀释后的体积及压力来计算所配混合气体的组分含量。动态配气法：对于那些腐蚀性、吸附性强且性质偏离理想气体状态的混合气体的制备，更倾