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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113607584A(43)申请公布日2021.11.05(21)申请号202111168062.X(22)申请日2021.10.08(71)申请人太原科技大学地址030024山西省太原市万柏林区瓦流路66号(72)发明人常超李宏达褚井泉(74)专利代理机构山西晋扬知识产权代理事务所(特殊普通合伙)14125代理人梁雅男(51)Int.Cl.G01N3/42(2006.01)G01N3/18(2006.01)G01N3/02(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称纳米压痕仪测试试样高温加热装置(57)摘要本发明公开了纳米压痕仪测试试样高温加热装置,涉及纳米压痕测试技术领域,包括支撑台,所述支撑台的顶部一侧固定连接有立板,所述立板的前侧面一侧固定连接有油泵箱,所述油泵箱的底部固定连接有加热筒。本发明通过设置激光器,能够利用发射头发射的激光束对压痕头的尖端以及待测试式样进行加热,通过将激光束照射在指定位置进行加热升温,并且利用顶部红外测温头和底部红外测温头实时检测加热温度,达到减少耗能快速局部升温的目的,通过真空泵抽真空之后能够减少内部热量流失,通过设置换气槽,在加热初期能够利用升温引起的气压变化使气体从换气孔自动排出,减少真空泵的工作时间。CN113607584ACN113607584A权利要求书1/2页1.纳米压痕仪测试试样高温加热装置,包括支撑台(9),其特征在于:所述支撑台(9)的顶部一侧固定连接有立板(2),所述立板(2)的前侧面一侧固定连接有油泵箱(3),所述油泵箱(3)的底部固定连接有加热筒(4),所述加热筒(4)的内顶壁固定连接有液压杆(32),所述液压杆(32)的活动端固定连接有压痕头(33),所述加热筒(4)的底部开设有加热腔(28),所述加热腔(28)的内壁底部固定连接有激光器(30),所述激光器(30)的一侧面固定连接有安装板(45),所述安装板(45)的顶部和底部均固定连接有发射头(46),所述加热腔(28)的内壁固定连接有与压痕头(33)相适配的顶部红外测温头(29),所述加热筒(4)的底部固定连接有与载物台(17)相适配的底部红外测温头(31);所述支撑台(9)的底部一侧开设有换气槽(34),所述换气槽(34)的内壁通过底部轴承(39)活动连接有通气环(24),所述通气环(24)的内壁固定连接有拨动柱(40),所述换气槽(34)的顶壁固定连接有拉紧弹簧(38),所述拉紧弹簧(38)的底部固定连接有放气筒(26),所述放气筒(26)的外侧壁开设有拨动槽(41),所述拨动槽(41)的顶部开设有与拨动柱(40)相适配的活动槽(42),所述换气槽(34)的顶壁开设有换气孔(35),所述放气筒(26)的内底壁固定连接有连接杆(37),所述连接杆(37)的顶部固定连接有与换气孔(35)相适配的密封半球(36);所述支撑台(9)的顶部中部固定连接有滑动台(12),所述滑动台(12)的顶部设置有移动台(7),所述移动台(7)的顶部中间固定连接有载物台(17),所述移动台(7)的顶部两侧均固定连接有侧板(22),所述载物台(17)的侧面通过侧边轴承(27)活动连接有螺纹杆(20),所述螺纹杆(20)的一端贯穿侧板(22)并固定连接有调整柱(5),所述螺纹杆(20)的中部螺纹连接有夹紧板(18);所述支撑台(9)的顶部边缘固定连接有密封圈(10)。2.根据权利要求1所述的纳米压痕仪测试试样高温加热装置,其特征在于:所述通气环(24)的外侧面底部固定连接有防滑柱(25),所述防滑柱(25)有若干个,若干个所述防滑柱(25)在通气环(24)的侧面底部呈环形阵列分布。3.根据权利要求1所述的纳米压痕仪测试试样高温加热装置,其特征在于:所述支撑台(9)的底部固定连接有脚柱(8),所述脚柱(8)有四个,四个所述脚柱(8)在支撑台(9)的底部四角呈矩形阵列分布,所述脚柱(8)的底部固定连接有橡胶垫。4.根据权利要求1所述的纳米压痕仪测试试样高温加热装置,其特征在于:所述立板(2)的前侧面另一侧固定连接有连接环(15),所述连接环(15)的中部固定连接有镜筒(16),所述镜筒(16)的底部活动连接有转动盘(14),所述转动盘(14)的底部固定连接有镜头(13)。5.根据权利要求1所述的纳米压痕仪测试试样高温加热装置,其特征在于:所述密封圈(10)由外部密封圈(43)和内部密封圈(44)组成,所述外部密封圈(43)和内部密封圈(44)的截面形状均为A字形,所述外部密封圈(43)和内部密封圈(44)的底部固定连接,所述外部密封圈(43)和内部密封圈(44)之间组成V字形槽。6.根据权利要求1所述的纳米压痕仪测试试样高温加热装置,其特征在