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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113661574A(43)申请公布日2021.11.16(21)申请号202080000260.2(51)Int.Cl.(22)申请日2020.03.12H01L27/32(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2020.03.16(86)PCT国际申请的申请数据PCT/CN2020/0790732020.03.12(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/179271ZH2021.09.16(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号(72)发明人胡合合宁策王利忠董水浪姚念琦(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291代理人金俊姬(54)发明名称显示基板及其制备方法、显示面板(57)摘要一种显示基板及其制备方法、显示面板,目的是改善显示基板的结构,提高薄膜晶体管的特性,提高显示产品良率。其中,显示基板包括:衬底基板(1);薄膜晶体管(2),位于所述衬底基板(1)上;第一钝化层(3),位于所述薄膜晶体管(2)背离所述衬底基板(1)的一侧;补氧层(4),位于所述第一钝化层(3)背离所述衬底基板(1)的一侧,至少覆盖所述薄膜晶体管(2)的沟道区(20),所述补氧层(4)中的氧含量大于所述第一钝化层(3)中的氧含量,所述补氧层(4)中氢、氮和水分子的含量分别小于所述第一钝化层(3)中氢、氮和水分子的含量。CN113661574A