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线扫描共聚焦反射式成像装置.pdf
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线扫描共聚焦反射式成像装置.pdf
本发明公开了一种线扫描共聚焦反射式成像装置，包括：目镜、扫描透镜、扫描振镜、分光片、柱面镜、狭缝、线阵相机、激光器以及成像装置；所述激光器发出的激光通过所述柱面镜后，点光源被转换为线光源，然后透射所述分光片到达所述扫描振镜，再依次通过所述扫描透镜、目镜后到达样品表面；样品反射的光依次通过所述目镜、扫描透镜、扫描振镜后被所述分光片反射，经过所述狭缝后被所述线阵相机采集，最后在所述成像装置中进行成像。本发明通过柱面镜将点光源转换为线光源后，藉由高速振镜的扫描作用，使用线阵相机采集到样本反射光，能实现快速反射成
2023-07-24
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