测试器件以及采用测试器件进行测试的测试方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114200282A(43)申请公布日2022.03.18(21)申请号202210139809.7(22)申请日2022.02.16(71)申请人阿里巴巴达摩院（杭州）科技有限公司地址310023浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路969号3幢5层516室(72)发明人邓昊(74)专利代理机构北京博浩百睿知识产权代理有限责任公司11134代理人谢湘宁李静茹(51)Int.Cl.G01R31/26(2014.01)H01L39/22(2006.01)G06N10/00(2022.01)权利要求书3页说明书13页附图6页(54)发明名称测试器件以及采用测试器件进行测试的测试方法(57)摘要本发明公开了一种测试器件以及采用测试器件进行测试的测试方法。其中，该器件包括：第一共面波导和第二共面波导，第一共面波导包括第一中心导体带和位于第一中心导体带两侧的第二边缘接地带，第二共面波导包括第二中心导体带和位于第二中心导体带两侧的第二边缘接地带，位于第一中心导体带两侧的第一边缘接地带与位于第二中心导体带两侧的第二边缘接地带为一体，第一中心导体带与第二中心导体带之间预留有用于连接待测约瑟夫森结的目标位置，第一共面波导和第二共面波导组合形成测试器件的第一谐振腔。本发明解决了由于无法对约瑟夫森结的不同损耗机制进行定量区分测量造成的难以针对性地改进约瑟夫森结的技术问题。CN114200282ACN114200282A权利要求书1/3页1.一种测试器件，其特征在于，包括：第一共面波导和第二共面波导，所述第一共面波导包括第一中心导体带和位于所述第一中心导体带两侧的第一边缘接地带，所述第二共面波导包括第二中心导体带和位于所述第二中心导体带两侧的第二边缘接地带，位于所述第一中心导体带两侧的第一边缘接地带与位于所述第二中心导体带两侧的第二边缘接地带为一体，所述第一中心导体带与所述第二中心导体带之间预留有用于连接待测约瑟夫森结的目标位置，所述第一共面波导和所述第二共面波导组合形成所述测试器件的第一谐振腔。2.根据权利要求1所述的测试器件，其特征在于，所述第一谐振腔的长度为第一目标谐振信号的波长的一半。3.根据权利要求2所述的测试器件，其特征在于，在所述测试器件包括所述待测约瑟夫森结的情况下，所述待测约瑟夫森结位于所述目标位置处，所述目标位置为以所述第一谐振腔的一端为原点，距离所述原点为所述第一目标谐振信号的波长的四分之一的位置处。4.根据权利要求1所述的测试器件，其特征在于，所述测试器件还包括：第三共面波导。5.根据权利要求4所述的测试器件，其特征在于，一个所述第一谐振腔和一个第二谐振腔为一个谐振腔组，所述测试器件包括至少两个谐振腔组。6.一种采用测试器件进行测试的测试方法，其特征在于，包括：向所述测试器件的第一谐振腔输入第一目标谐振信号，激发所述第一谐振腔处于第一简谐振荡态，其中，所述第一谐振腔由第一共面波导和第二共面波导组合形成，所述第一共面波导包括第一中心导体带和位于所述第一中心导体带两侧的第一边缘接地带，所述第二共面波导包括第二中心导体带和位于所述第二中心导体带两侧的第二边缘接地带，位于所述第一中心导体带两侧的第一边缘接地带与位于所述第二中心导体带两侧的第二边缘接地带为一体，所述第一中心导体带与所述第二中心导体带之间预留有用于连接待测约瑟夫森结的目标位置；接收所述第一谐振腔输出的第一测量信号；基于所述第一测量信号确定所述待测约瑟夫森结的内部电流损耗参数。7.根据权利要求6所述的测试方法，其特征在于，所述基于所述第一测量信号确定所述待测约瑟夫森结的内部电流损耗参数，包括：在所述测试器件包括第三共面波导的情况下，向所述第三共面波导形成的第二谐振腔输入第二目标谐振信号，使得所述第二谐振腔与所述第一谐振腔处于相同的谐振态；接收所述第二谐振腔输出的第二测量信号；基于所述第一测量信号和所述第二测量信号，确定所述待测约瑟夫森结的内部电流损耗参数。8.根据权利要求6所述的测试方法，其特征在于，所述方法还包括：向所述测试器件的所述第一谐振腔输入第三目标谐振信号，其中，所述第三目标谐振信号与所述第一目标谐振信号不同，所述第三目标谐振信号为所述第一目标谐振信号的预定倍数；接收所述第一谐振腔输出的第三测量信号；基于所述第三测量信号确定所述待测约瑟夫森结的外部介电损耗参数。9.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于，所述基于所述第三测量信号确定所述2CN114200282A权利要求书2/3页待测约瑟夫森结的外部介电损耗参数，包括：在所述测试器件包括第三共面波导的情况下，向所述第三共面波导形成的第二谐振腔输入第四目标谐振信号，使得所述第二谐振腔与所述第一谐振腔处于相同的谐振态；接收所述第二谐振腔输出的第