防坠落装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114225261A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202111617931.2(22)申请日2021.12.27(71)申请人拓荆科技股份有限公司地址110171辽宁省沈阳市浑南区水家900号(72)发明人王燚吴凤丽杨华龙张博马志彬杨萌(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286代理人黄海霞(51)Int.Cl.A62B35/00(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图6页(54)发明名称防坠落装置(57)摘要本发明提供了一种防坠落装置，包括基座、支撑件、驱动机构和防护组件；驱动机构设置于基座，支撑件设置于驱动机构的活动端，驱动机构用于驱动支撑件相对于基座移动；防护组件活动设置于基座或驱动机构，当支撑件位于初始位置时，防护组件处于第一位置状态，当驱动机构驱动支撑件移动至指定位置时，防护组件处于第二位置状态，且防护组件位于支撑件和基座之间。本发明的防坠落装置，通过驱动机构驱动支撑件进行移动，便于目标结构的下降和提升，能够节省劳动力。同时设置防护组件，能够在驱动机构失效时或支撑件意外坠落时，通过防护组件对支撑件形成支撑，避免目标结构坠落损坏或砸伤工作人员的情况发生。CN114225261ACN114225261A权利要求书1/1页1.一种防坠落装置，其特征在于，包括基座、支撑件、驱动机构和防护组件；所述驱动机构设置于所述基座，所述支撑件设置于所述驱动机构的活动端，所述驱动机构用于驱动所述支撑件相对于所述基座移动；所述防护组件活动设置于所述基座或所述驱动机构，当所述支撑件位于初始位置时，所述防护组件处于第一位置状态，当所述驱动机构驱动所述支撑件移动至指定位置时，所述防护组件处于第二位置状态，且所述防护组件位于所述支撑件和所述基座之间。2.根据权利要求1所述的防坠落装置，其特征在于，还包括锁定机构；所述锁定机构设置于所述基座，所述锁定机构与所述驱动机构电连接，所述锁定机构用于控制所述驱动机构的锁定或解除锁定。3.根据权利要求2所述的防坠落装置，其特征在于，所述锁定机构处于开启状态，且所述防护组件处于第二位置状态时，所述锁定机构控制所述驱动机构锁定；所述锁定机构处于关闭状态，且所述防护组件处于第一位置状态时，所述锁定机构控制所述驱动机构解除锁定。4.根据权利要求2所述的防坠落装置，其特征在于，所述锁定机构和所述防护组件均设置为至少两个。5.根据权利要求4所述的防坠落装置，其特征在于，各个所述防护组件均处于第一位置状态时，所述驱动机构处于解除锁定状态；至少一个所述防护组件处于第二位置状态时，所述驱动机构处于锁定状态。6.根据权利要求2所述的防坠落装置，其特征在于，所述锁定机构包括压力开关和控制器；所述压力开关设置于所述基座，所述压力开关与所述控制器电连接，所述控制器与所述驱动机构电连接，所述压力开关用于向所述控制器输送信号，所述控制器用于根据所述信号控制所述驱动机构的状态。7.根据权利要求1所述的防坠落装置，其特征在于，所述防护组件包括固定件；所述固定件转动设置于所述基座或所述驱动机构，当所述支撑件位于初始位置时，所述固定件处于所述第一位置状态，当所述驱动机构驱动所述支撑件移动至指定位置时，所述固定件处于所述第二位置状态，且所述固定件转动至所述支撑件和所述基座之间。8.根据权利要求7所述的防坠落装置，其特征在于，所述防护组件还包括转轴和轴承；所述转轴通过所述轴承设置于所述基座，且所述转轴转动设置于所述轴承，所述固定件活动设置于所述转轴。9.根据权利要求7所述的防坠落装置，其特征在于，所述防护组件还包括定位销；所述基座上设有定位孔，当所述固定件处于所述第二位置状态时，所述定位销与所述定位孔配合使所述固定件固定。10.根据权利要求7所述的防坠落装置，其特征在于，所述防护组件还包括缓冲部；所述缓冲部设置于所述固定件，所述缓冲部为柔性材料制成。2CN114225261A说明书1/7页防坠落装置技术领域[0001]本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种防坠落装置。背景技术[0002]晶圆处理设备被用于通过技术来处理半导体，所述技术包括：物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)、化学气相沉积(Chemicalvapordeposition，CVD)、等离子体增强化学气相沉积(Plasmaenhancedchemicalvapordeposition，PECVD)、原子层沉积(Atomiclayerdeposition，ALD)、等离子体增强原子层沉积(Plasmaenhancedatomiclayerdeposition，PEALD)、脉冲沉积层(Pulsedepositionlayer