电源组件、电源控制方法和溅射设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114277341A(43)申请公布日2022.04.05(21)申请号202111601804.3(22)申请日2021.12.24(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人于磊杰(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315代理人周永强(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C23C14/54(2006.01)C23C14/52(2006.01)H02J9/06(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图3页(54)发明名称电源组件、电源控制方法和溅射设备(57)摘要本申请公开一种本申请实施例的目的是提供一种电源组件、电源控制方法和溅射设备，电源组件包括第一电源、第二电源、拨码开关和电流测量件，所述第一电源和所述第二电源并联设置，所述第一电源配置为与控制主机通信连接，所述第二电源通过所述拨码开关与所述第一电源主从连接；所述第一电源和所述第二电源的正极接地设置，所述第一电源和所述第二电源的负极均配置为与安装于溅射设备的腔室的靶材电性连接；所述电流测量件配置为与所述靶材电性连接，且所述电流测量件与所述控制主机通信连接，以传输所述靶材的实际电流于所述控制主机。上述电源组件可以及时发现作为从电源的电源失效的情况。CN114277341ACN114277341A权利要求书1/2页1.一种电源组件，应用于溅射设备中，其特征在于，所述电源组件包括第一电源、第二电源、拨码开关和电流测量件，所述第一电源和所述第二电源并联设置，所述第一电源配置为与控制主机通信连接，所述第二电源通过所述拨码开关与所述第一电源主从连接；所述第一电源和所述第二电源的正极接地设置，所述第一电源和所述第二电源的负极均配置为与安装于溅射设备的腔室的靶材电性连接；所述电流测量件配置为与所述靶材电性连接，且所述电流测量件与所述控制主机通信连接，以传输所述靶材的实际电流于所述控制主机。2.根据权利要求1所述的电源组件，其特征在于，还包括汇流盒，所述汇流盒设有两个输入端和两个输出端，所述第一电源的负极配置为通过第一导线与所述汇流盒的一个输入端连接，所述第二电源的负极配置为通过第二导线与所述汇流盒的另一个输入端连接，所述汇流盒的两个输出端分别通过第三导线和第四导线与所述靶材电性连接。3.根据权利要求2所述的电源组件，其特征在于，所述第三导线和所述第四导线均安装有所述电流测量件。4.根据权利要求1所述的电源组件，其特征在于，所述电源组件还包括第三电源，所述第三电源与所述控制主机通信连接，所述第三电源的正极通过第一开关接地设置，所述第三电源的负极配置为通过第二开关与安装于溅射设备的腔室的靶材电性连接，所述第一开关和所述第二开关用于在所述靶材的目标电流与实际电流的第一差值大于第一预设差值的情况下均闭合，以补偿所述靶材的实际电流至所述目标电流。5.根据权利要求4所述的电源组件，其特征在于，所述第二电源的正极通过第五导线接地设置，所述第二电源的负极通过第六导线与所述靶材电性连接，所述第三电源的正极通过所述第一开关与所述第五导线连接，所述第三电源的负极通过所述第二开关与所述第六导线连接。6.一种电源组件，应用于溅射设备中，其特征在于，所述电源组件包括第一电源、第二电源、第三电源、拨码开关、电流测量件和电压测量件，所述第一电源、所述第二电源和所述第三电源均并联设置，所述第一电源和所述第三电源均配置为与控制主机通信连接，所述第二电源通过所述拨码开关与所述第一电源主从连接；所述第一电源和所述第二电源的正极接地设置，所述第一电源和所述第二电源的负极均配置为与安装于溅射设备的腔室的靶材电性连接；所述第三电源的正极通过第一开关接地设置，所述第三电源的负极配置为通过第二开关与安装于溅射设备的腔室的靶材电性连接，所述电流测量件和所述电压测量件均配置为与所述靶材电性连接，且所述电流测量件和所述电压测量件均与所述控制主机通信连接，以分别传输所述靶材的实际电流和实际电压于所述控制主机，所述第一开关和所述第二开关用于在所述靶材的目标功率与实际功率的第二差值大于第二预设差值的情况下均闭合，以补偿所述靶材的实际功率至所述目标功率。7.一种电源控制方法，应用于权利要求1‑5任意一项所述的电源组件，其特征在于，所述电源控制方法包括：获取所述靶材的实际电流；2CN114277341A权利要求书2/2页在目标电流与所述实际电流的第一差值大于第一预设差值的情况下，发出报警信号。8.根据权利要求7所述的电源控制方法，其特征在于，所述电源组件还包括第三电源，所述第三电源与所述控制主机通信连接，所述第三电源的正极通过第一开关接地设置，所述第三电源的负极配