用于提高测量精度的补偿光路结构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115014210A(43)申请公布日2022.09.06(21)申请号202210468813.8(22)申请日2022.04.29(71)申请人深圳市中图仪器股份有限公司地址518000广东省深圳市南山区西丽街道学苑大道1001号南山智园B1栋2楼(72)发明人张和君张琥杰(74)专利代理机构深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙)44398专利代理师黄贤炬(51)Int.Cl.G01B11/06(2006.01)G01B11/24(2006.01)权利要求书2页说明书13页附图7页(54)发明名称用于提高测量精度的补偿光路结构(57)摘要本公开描述了一种用于提高测量精度的补偿光路结构，重建装置包括用于获取目标点的初始高度的测量光路结构和补偿光路结构，补偿光路结构包括第一发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块，第一发生模块用于产生带宽不大于第一预设值的补偿光束，分光模块包括第一分光单元和第二分光单元，第一分光单元配置为接收补偿光束并将补偿光束反射至干涉物镜，补偿光束在干涉物镜形成补偿反射光束，数据处理模块基于补偿反射光束对初始高度进行补偿以获得综合测量高度。根据本公开，能够提供一种对目标点的测量高度进行补偿以提高目标点的测量精度的补偿光路结构。CN115014210ACN115014210A权利要求书1/2页1.一种用于提高测量精度的补偿光路结构，是用于提高重建装置测量目标点的高度时的测量精度的补偿光路结构，其特征在于，所述重建装置包括用于获取所述目标点的初始高度的测量光路结构和所述补偿光路结构，所述补偿光路结构包括第一发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块，所述第一发生模块用于产生带宽不大于第一预设值的补偿光束，所述分光模块包括第一分光单元和第二分光单元，所述第一分光单元配置为接收补偿光束并将补偿光束反射至所述干涉物镜，补偿光束在所述干涉物镜形成补偿反射光束，所述数据处理模块基于补偿反射光束对所述初始高度进行补偿以获得综合测量高度。2.根据权利要求1所述的补偿光路结构，其特征在于，还包括与所述数据处理模块信号连接的第一接收模块，所述第一接收模块配置为接收经由所述第二分光单元反射的补偿反射光束并形成补偿干涉信号。3.根据权利要求2所述的补偿光路结构，其特征在于，所述第一接收模块包括第一接收单元和第一透镜单元，所述第一透镜单元设置于所述第一接收单元和所述第二分光单元之间。4.根据权利要求2或3所述的补偿光路结构，其特征在于，所述数据处理模块配置为基于所述补偿干涉信号获得补偿信息，并基于所述补偿信息对所述初始高度进行补偿以获得综合测量高度。5.根据权利要求2所述的补偿光路结构，其特征在于，所述干涉物镜包括第三分光单元和参考单元，所述第三分光单元配置为接收补偿光束并将补偿光束分解为反射至所述参考单元的第一补偿光束和透射至所述目标点的第二补偿光束；第一补偿目标光束经由所述第三分光单元反射至所述参考单元并被所述参考单元反射以形成第一补偿反射光束，第二补偿目标光束经由所述第三分光单元透射至所述目标点并被所述目标点反射以形成第二补偿反射光束，第一补偿反射光束与第二补偿反射光束形成补偿反射光束。6.根据权利要求5所述的补偿光路结构，其特征在于，所述测量光路结构包括第二发生模块、所述分光模块、所述干涉物镜、所述数据处理模块、以及第二接收模块，所述第二发生模块用于产生带宽不小于第二预设值的测量光束，所述第一预设值不大于所述第二预设值，所述第一分光单元还配置为接收测量光束并将测量光束反射至所述干涉物镜，测量光束在所述干涉物镜形成测量反射光束，所述第二接收模块配置为接收经由所述第二分光单元透射的测量反射光束，所述数据处理模块基于测量反射光束获取所述目标点的初始高度。7.根据权利要求6所述的补偿光路结构，其特征在于，所述重建装置还包括耦合单元，所述耦合单元配置为接收补偿光束和测量光束并耦合补偿光束和测量光束。8.根据权利要求6所述的补偿光路结构，其特征在于，所述测量装置还包括时序同步单元，所述时序同步单元配置为发送控制信号至所述第一接收模块和所述第二接收模块以使所述第一接收模块和所述第二接收模块同步接收补2CN115014210A权利要求书2/2页偿反射光束和测量反射光束。9.根据权利要求8所述的补偿光路结构，其特征在于，所述第一接收模块响应一个光信号的时间不大于所述第二接收模块响应一个光信号的响应时间。10.根据权利要求1所述的补偿光路结构，其特征在于，所述重建装置还包括驱动模块，所述驱动模块配置为调节所述干涉物镜和所述目标点的相对位置。3CN115014210A说明书1/13页用于提高测量精度的补偿光路结构技术领域[0001]本公开涉及一种智能制造装备产业，具体涉及一