有机EL显示装置、固化物的制造方法及有机EL显示装置的制造方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115066980A(43)申请公布日2022.09.16(21)申请号202180013396.1(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所(22)申请日2021.02.0811256专利代理师牛蔚然(30)优先权数据2020-0290512020.02.25JP(51)Int.Cl.H05B33/22(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G03F7/023(2006.01)2022.08.05G03F7/40(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据G09F9/00(2006.01)PCT/JP2021/0045352021.02.08G09F9/30(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据H01L27/32(2006.01)WO2021/171984JA2021.09.02H05B33/10(2006.01)H05B33/12(2006.01)(71)申请人东丽株式会社H01L51/50(2006.01)地址日本东京都(72)发明人龟本聪小森悠佑三好一登权利要求书1页说明书32页附图1页(54)发明名称有机EL显示装置、固化物的制造方法及有机EL显示装置的制造方法(57)摘要本发明的目的在于提供不引起发光亮度降低或像素收缩、长期可靠性优异的有机EL显示装置。本发明为具备下述包含感光性树脂组合物的固化物的固化物的有机EL显示装置，该感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)萘醌二叠氮磺酸酯化合物，其中，将该固化物的由飞行时间二次离子质谱得到的硫的负二次离子强度设为I(S)、将碳、氧、氟、硅及硫的负二次离子强度的总和设为I(TOTAL)时，强度比I(S)/I(TOTAL)为0.0001以上0.008以下。或者，本发明为上述固化物的制造方法。CN115066980ACN115066980A权利要求书1/1页1.有机EL显示装置，其是具备下述感光性树脂组合物的固化物的有机EL显示装置，该感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)萘醌二叠氮磺酸酯化合物，其中，将该固化物的由飞行时间二次离子质谱得到的硫的负二次离子强度设为I(S)(单位：counts)、将碳、氧、氟、硅及硫的负二次离子强度的总和设为I(TOTAL)(单位：counts)时，强度比I(S)/I(TOTAL)为0.0001以上0.008以下。2.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其中，所述有机EL显示装置至少具备基板、第一电极、第二电极、有机EL层、平坦化层及像素分割层，所述固化物包含于平坦化层及/或像素分割层。3.如权利要求1或2所述的有机EL显示装置，其中，所述感光性树脂组合物还含有(C)产碱剂。4.如权利要求1～3中任一项所述的有机EL显示装置，其中，所述(B)萘醌二叠氮磺酸酯化合物含有(B1)萘醌二叠氮‑4‑磺酸酯化合物。5.如权利要求1～4中任一项所述的有机EL显示装置，其中，所述(A)碱溶性树脂含有选自由聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体、它们的共聚物及聚硅氧烷组成的组中的1种以上的碱溶性树脂。6.如权利要求4所述的有机EL显示装置，其中，相对于所述(B)萘醌二叠氮磺酸酯化合物的总量100质量％，所述(B1)萘醌二叠氮‑4‑磺酸酯化合物的含量为60质量％以上100质量％以下。7.如权利要求3所述的有机EL显示装置，其中，所述(C)产碱剂含有胍衍生物及/或双胍衍生物。8.固化物的制造方法，其为下述感光性树脂组合物的固化物的制造方法，该感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)萘醌二叠氮磺酸酯化合物，所述固化物的制造方法依次包括：将该感光性树脂组合物涂布于基板而形成感光性树脂膜的工序；将所述感光性树脂膜干燥的工序；对经干燥的感光性树脂膜进行曝光的工序；对经曝光的感光性树脂膜进行显影的工序；及，对经显影的感光性树脂膜进行加热处理而得到固化物的工序，其中，将该固化物的由飞行时间二次离子质谱得到的硫的负二次离子强度设为I(S)(单位：counts)、将碳、氧、氟、硅及硫的负二次离子强度的总和设为I(TOTAL)(单位：counts)时，强度比I(S)/I(TOTAL)为0.0001以上0.008以下。9.如权利要求8所述的固化物的制造方法，其中，进行所述加热处理而得到固化物的工序的最高加热温度为240℃以上420℃以下。10.如权利要求8或9所述的固化物的制造方法，其中，在所述对经曝光的感光性树脂膜进行显影的工序与所述对经显影的感光性树脂膜进行加热处理而得到固化物的工序之间，还包括对经显影的感光性树脂膜进行紫外线照射的工序。11.有机EL显示装置的制造方法，其具有在基板上依次形成平坦化层、第一电极、像素分割层、有机EL层、第二电极的工序，其中，包含于