工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115061437A(43)申请公布日2022.09.16(21)申请号202210674350.0(22)申请日2022.06.14(71)申请人长鑫存储技术有限公司地址230601安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号(72)发明人徐莹郑悦文(74)专利代理机构北京律智知识产权代理有限公司11438专利代理师王辉(51)Int.Cl.G05B19/418(2006.01)G06F8/65(2018.01)权利要求书2页说明书12页附图5页(54)发明名称工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备(57)摘要本公开提供了一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备，涉及半导体技术领域。该工艺监控方法包括：获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；若所述脚本执行状态为执行报错，则生成针对所述脚本更新信息的报错信息，并将所述报错信息发送至管理终端。本公开提供的一种工艺监控方法，解决了目前半导体生产工艺的稳定性较弱的技术问题，达到了提高生产工艺稳定性的技术效果。CN115061437ACN115061437A权利要求书1/2页1.一种工艺监控方法，其特征在于，包括：获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；若所述脚本执行状态为执行报错，则生成针对所述脚本更新信息的报错信息，并将所述报错信息发送至管理终端。2.根据权利要求1所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：根据所述脚本更新信息确定所述第一脚本在所述当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点；根据所述执行信息确定所述第二脚本在所述当前生产工艺中执行时对应的若干个第二工艺节点；根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态。3.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将所述当前生产工艺的所述脚本执行状态确定为所述执行报错。4.根据权利要求3所述的工艺监控方法，其特征在于，所述若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将所述当前生产工艺的所述脚本执行状态确定为所述执行报错，包括：若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则基于所述第一脚本的所述脚本更新信息、所述第二脚本的所述执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果；根据所述模拟结果确定所述当前生产工艺的所述脚本执行状态是否为所述执行报错。5.根据权利要求4所述的工艺监控方法，其特征在于，所述基于所述第一脚本的所述脚本更新信息、所述第二脚本的所述执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果，包括：对所述脚本更新信息进行解析，得到所述第一脚本的第一执行目标；对所述执行信息进行解析，得到所述第二脚本的第二执行目标；将所述第一执行目标与所述第二执行目标输入至所述预先配置的脚本执行模型，得到所述模拟结果。6.根据权利要求4所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述模拟结果确定所述当前生产工艺的所述脚本执行状态是否为所述执行报错，包括：将所述模拟结果与预先配置的报错结果进行比对，以确定所述当前生产工艺的所述脚本执行状态是否为所述执行报错。7.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述脚本更新信息确定所述第一脚本在所述当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点，包括：2CN115061437A权利要求书2/2页根据所述脚本更新信息从预先配置的第一脚本数据库中查询，得到与所述脚本更新信息对应的所述若干个第一工艺节点。8.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：从预先配置的第二脚本数据库中查询与各所述第二工艺节点对应的节点状态标识；根据所述节点状态标识为执行状态的第二工艺节点与所述若干个第一工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态。9.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所