光检测装置和电子装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115763507A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211471848.3(22)申请日2017.07.24(30)优先权数据2016-2111952016.10.28JP(62)分案原申请数据201780061002.32017.07.24(71)申请人索尼公司地址日本东京(72)发明人纳土晋一郎(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290专利代理师李晗姚鹏(51)Int.Cl.H01L27/146(2006.01)权利要求书1页说明书13页附图14页(54)发明名称光检测装置和电子装置(57)摘要本发明的目的在于解决2PD型图像传感器的各种问题中的至少一者。提供了一种固态摄像元件，其包括多个像素，多个像素中的每者包括形成在硅基板上的光电转换元件。像素的一部分被构造成使得其光电转换元件被第一类型分离区域分隔，第一类型分离区域在沿着硅基板的厚度方向的方向上呈平板状延伸，且像素中的其他部分被构造成使得其光电转换元件被由与第一类型分离区域不同的材料形成的第二类型分离区域分隔，第二类型分离区域在沿着硅基板的厚度方向的方向上呈平板状延伸。CN115763507ACN115763507A权利要求书1/1页1.一种光检测装置，其包括：在平面图中布置为彼此相邻的第一像素、第二像素、第三像素和第四像素，其中，所述第一像素包括第一光电转换区域和第二光电转换区域，所述第二像素包括第三光电转换区域和第四光电转换区域，所述第三像素包括第五光电转换区域和第六光电转换区域，所述第四像素包括第七光电转换区域和第八光电转换区域；第一分离区域，所述第一分离区域布置在所述第一光电转换区域和所述第二光电转换区域之间；第二分离区域，所述第二分离区域布置在所述第三光电转换区域和所述第四光电转换区域之间；第三分离区域，所述第三分离区域布置在所述第五光电转换区域和所述第六光电转换区域之间；以及第四分离区域，所述第四分离区域布置在所述第七光电转换区域和所述第八光电转换区域之间，其中，所述第二分离区域、所述第三分离区域和所述第四分离区域包括相同材料。2.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，所述第一像素的颜色不同于所述第二像素、所述第三像素和所述第四像素。3.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，所述第一像素、所述二像素、所述第三像素和所述第四像素布置为拜耳阵列。4.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，所述第一分离区域通过杂质离子注入而形成。5.根据权利要求4所述的光检测装置，其中，对于所述第一像素，入射光入射到所述第一光电转换区域和所述第二光电转换区域所组成的区域的中心处。6.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，所述第二分离区域、所述第三分离区域和所述第四分离区域由氧化膜形成。7.根据权利要求6所述的光监测装置，其中，对于所述第二像素、所述第三像素和所述第四像素，入射光分别被分支到所述第二分离区域、所述第三分离区域和所述第四分离区域的两侧。8.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，所述第二分离区域、所述第三分离区域和所述第四分离区域在深度方向上具有0.5μm或以上的长度。9.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，平板状的所述第二分离区域、所述第三分离区域和所述第四分离区域包括二氧化硅膜，且宽度为550nm以下。10.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，平板状的所述第二分离区域、所述第三分离区域和所述第四分离区域包括二氧化硅膜，且宽度等于或小于蓝光波长。11.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，所述第一像素为红色像素，所述第二像素和所述第三像素为绿色像素，且所述第四像素为蓝色像素。12.一种电子装置，其包括根据权利要求1‑11中任一者所述的光检测装置。2CN115763507A说明书1/13页光检测装置和电子装置[0001]本申请是申请日为2017年7月24日、发明名称为“固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法和电子装置”的申请号为201780061002.3专利申请的分案申请。技术领域[0002]本技术涉及一种固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法和电子装置。背景技术[0003]相机的自动对焦(AF：autofocus)方式粗略有三种类型：相位差AF；对比度AF；和像面相位差AF。像面相位差AF是最新的方式，且近年来，已经逐步发展起来。因为像面相位差AF具有被结合在图像传感器的像素本身中的相位差AF传感器的功能，所以像面相位差AF能够在不需要单独配备相位差AF所需的分离镜片和相位差AF传感器的情况下实现相位差AF。换言之，类似于相位差AF，像面相位差AF瞬间测量AF的偏差量，从而可以使设定镜头(setlens)非常快速地聚焦。[0004]专利文献1公开了遮光金