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中国CMP设备行业政策背景:市场现状、竞争格局 及行业前景展望 一、CMP设备的应用 CMP设备系依托CMP技术的化学-机械动态耦合作用原理,通过化学腐蚀与机械 研磨的协同配合作用,实现晶圆表面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化 ——全局平整落差5nm以内的超高平整度;其是一种集摩擦学、表/界面力学、 分子动力学、精密制造、化学/化工、智能控制等多领域最先进技术于一体的设 备,是集成电路制造设备中较为复杂和研制难度较大的专用设备之一。在CMP 设备三大应用场景中,集成电路制造是CMP设备应用最主要的场景。 CMP设备应用场景 资料来源:公开资料整理 二、CMP设备行业发展政策背景 近年来我国推出了一系列“新一代信息技术领域”及“半导体和集成电路”产 业支持政策,加速半导体设备国产化。“十三五规划”中明确提出要优化产业 结构,推进包括CMP设备在内的集成电路专用设备关键核心技术的突破和应 用。 CMP设备相关法律法规及政策 资料来源:公开资料整理 相关报告:华经产业研究院发布的《2023-2028年中国CMP设备行业市场全景 评估及投资前景展望报告》 三、全球CMP设备行业市场现状分析 1、半导体市场规模 2011年以来,全球半导体市场规模持续扩张。根据WSTS数据,2021年全球半 导体销售额预计为5559亿美元,同比增长26%。 2012-2021年全球半导体市场规模及增速 资料来源:WSTS,华经产业研究院整理 2、半导体设备产品结构 终端需求是推动半导体设备市场成长的主要动力,据统计,2021年全球CMP设 备约占晶圆制造设备3%的市场份额。 2021年全球半导体设备产品结构(单位:%) 资料来源:Gartner,华经产业研究院整理 3、CMP设备市场规模 据统计,2020年全球CMP设备市场规模为17.67亿美元,2021年为27.83亿美 元,同比增长57.48%。预计2022年全球市场规模为30.76亿美元,CMP设备市 场仍有扩大空间。 2020-2022年全球CMP设备市场规模情况 资料来源:Gartner,华经产业研究院整理 四、中国CMP设备行业市场现状分析 1、CMP市场构成 CMP市场主要分为设备和耗材(抛光液、抛光垫),其中CMP耗材占接近68%, CMP设备为32%。 CPM市场构成(单位:%) 资料来源:公开资料整理 2、半导体设备销售额 作为全球最大的半导体消费市场,我国对半导体器件产品的需求旺盛,半导体 市场规模持续扩大,市场需求带动了全球产能中心向中国大陆转移,中国大陆 半导体产业链的制造环节重要性日益凸显,大陆地区晶圆厂不断新建和扩产, 为我国半导体设备行业提供了巨大的市场空间,2021年中国大陆地区半导体设 备销售额为296.2亿美元,2011-2021年CAGR为23.29%。 2011-2021年中国大陆半导体设备销售额及增速 资料来源:SEMI,华经产业研究院整理 3、CMP设备市场规模 从中国半导体设备市场规模角度来看,据统计,2017-2020年中国大陆地区的 CMP设备市场规模分别为2.2亿美元、4.6亿美元、4.6亿美元和4.3亿美元, 呈现波动增长趋势,截至2021年我国大陆地区的CMP设备市场规模为6.8亿美 元,同比增长58%。 2017-2021年中国大陆CMP设备市场规模及增速 注:2021年数据由中国大陆2021年设备市场规模增速测算得出。 资料来源:SEMI,华经产业研究院整理 4、CMP设备进出口 从我国CMP设备进口情况来看,2021年我国CMP设备进口量为414台,同比 2020年增加228台,出口量为36台,同比2020年增加28台;截至2022年1- 4月我国CMP设备进口量为170台,比2021年同期增加了113台。 2015-2022年4月我国CMP设备进出口数量 资料来源:中国海关,华经产业研究院整理 进出口金额方面,据统计,2021年我国CMP设备进口金额为5.91亿美元,同 比增长90.03,截至2022年1-4月我国CMP设备进口金额为2.52亿美元,同 比增长153.96%,大陆CMP设备需求将继续维持高位。 2015-2022年4月我国CMP设备进出口金额 资料来源:中国海关,华经产业研究院整理 从我国CMP设备进口来源地进口额分布来看,2021年进口额排前三的分别是日 本、新加坡与德国,进口额分别为2.63亿美元、2.21亿美元与0.47亿美元, 进口额合计占比90.15%。 2021年我国