中国光刻胶市场发展前景分析.pdf
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光刻胶主要用于图形转移用耗材。光刻胶是一种胶状的物质,可以被紫外光、深紫外光、电子束、离子束、射线等光照或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。具体流程如在光刻工艺中,光刻胶被均匀涂布在衬底上,经过曝光(改变光刻胶溶解度)、显影(利用显影液溶解改性后光刻胶的可溶部分)与刻蚀等工艺,将掩膜版上的图形转移到衬底上,形成与掩膜版完全对应的几何图形。根据在显影过程中曝光区域的去除或保留可分为正性光刻胶和负性光刻胶。正性光刻胶之曝光部分发生
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