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光刻胶主要用于图形转移用耗材。光刻胶是一种胶状的物质,可以 被紫外光、深紫外光、电子束、离子束、射线等光照或辐射,其溶 解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应 用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。具体流程如在光刻 工艺中,光刻胶被均匀涂布在衬底上,经过曝光(改变光刻胶溶解度)、 显影(利用显影液溶解改性后光刻胶的可溶部分)与刻蚀等工艺,将掩 膜版上的图形转移到衬底上,形成与掩膜版完全对应的几何图形。 根据在显影过程中曝光区域的去除或保留可分为正性光刻胶和负性 光刻胶。正性光刻胶之曝光部分发生光化学反应会溶于显影液,而未 曝光部分不溶于显影液,仍然保留在衬底上,将与掩膜上相同的图形 复制到衬底上。而负性光刻胶之曝光部分因交联固化而不溶于显影液, 而未曝光部分溶于显影液,将与掩膜上相反的图形复制到衬底上。 1、中国半导体材料市场稳步增长 《2020-2026年中国光刻胶行业市场深度监测及投资战略决策报告》 数据显示:中国半导体材料市场稳步增长。2018年全球半导体材料 销售额达到519.4亿美元,同比增长10.7%。其中中国销售额为84.4 年开 始都是正增长,2016年至2018年连续3年超过10%的增速增长。而 全球半导体材料市场受周期性影响较大,特别是中国台湾,韩国两地 波动较大。北美和欧洲市场几乎处于零增长状态。而日本的半导体材 料长期处于负增长状态。全球范围看,只有中国大陆半导体材料市场 处于长期增长窗台。中国半导体材料市场与全球市场形成鲜明对比。 全球半导体材料逐步向中国大陆市场转移。从各个国家和地区的销 售占比来看,2018年排名前三位的三个国家或地区占比达到55%, 区域集中效应显现。其中,中国台湾约占全球晶圆的23%的产能,是 全球产能最大的地区,半导体材料销售额为114亿美元,全球占比为 22%,位列第一,并且连续九年成为全球最大半导体材料消费地区。 韩国约占全球晶圆的20%的产能,半导体材料销售额为87.2亿美元, 占比为17%,位列第二名。中国大陆约占全球13%的产能,半导体材 料销售额为84.4亿美元,约占全球的16%,位列第三名。但是长期 来看,中国大陆半导体材料市场占比逐年增加,从2007年的占比7.5%, 到2018年占比为16.2%。全球半导体材料逐步向中国大陆市场转移。 2、光刻胶是重要半导体材料 材料(包含硅片和各种化学品等等)。从长期看,半导体制造材料和 封装材料处于同趋势状态。但是从年之后,随着先进制程的不 断发展,半导体制造材料的消耗量逐渐增加,制造材料和封装材料的 差距逐渐增加。2018年,制造材料销售额为322亿美元,封装材料 销售额为197亿美元,制造材料约为封装材料的1.6倍。 光刻胶及其配套试剂是晶圆制造中的重要耗材。在2018年半导体材 料市场中,光刻胶及其配套试剂合计销售占比排在硅片,气体与光罩 之后,是半导体制程必不可少的光刻材料。在g-line与i-line开始被 用于半导体光刻光源后,基于DQN体系的紫外正胶开始替代此前的 以环化橡胶为基础的紫外负型胶。随着光刻技术的不断进步,在KrF, ArF等准分子激光源被广泛运用后,以化学放大技术(CAR)为基础 的深紫外光刻正胶开始成为半导体光刻胶的主流。最近,极紫外光刻 技术推动半导体制程工艺向5nm以下的特征尺寸推进,新型极紫外 光刻胶技术也不断涌现。光刻胶及其辅助材料在2018年的半导体材 料市场占比达12%。随着半导体产业的发展,光刻胶市场也随之增长。 2018年,全球制造材料销售额约为328亿美元。制造材料的消耗品 中,硅晶圆作为半导体的原材料,占比最大,达到37%,销售额为 120亿美元;半导体光刻胶及其辅助材料占比约为12%,销售额约为 58亿美元。随着全球半导体产业链向国内转移,国内光刻胶市场增 高于全球增速。近年来国内半导体市场发展迅速,在建和未 来规划建设的产能为半导体光刻胶提供了广阔的空间。 、政策引导,半导体材料将重点发展 自中美贸易摩擦以来,中国大陆大力发展半导体,集成电路产业, 并成立大基金投资半导体相关公司。同时,国家出台相关政策,积极 刺激半导体产业发展。先后颁布了《国家集成电路产业发展推进纲要》、 《集成电路产业“十三五”发展规划》等政策。各地方政府为培育增长 新动能,积极抢抓集成电路新一轮发展机遇,促进地区集成电路产业 实现跨越式发展,也不断出台相关政策支持集成电路产业的发展。国 家政策密集颁布:2014年工业和信息部、发展改革委、科技部、财 政部等多部门联合发布的《国家集成电路产业发展推进纲要》中,明 确了我国集成电路的