GaN基器件欧姆接触的研究的开题报告.docx
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GaN基器件欧姆接触的研究的开题报告.docx
GaN基器件欧姆接触的研究的开题报告开题报告:GaN基器件欧姆接触的研究一、研究背景和意义随着半导体器件技术不断发展,GaN基器件因其具有很高的电子迁移率、热导率和较小的漏电流等特点而备受关注。GaN器件的性能与其接触质量有很大关系,欧姆接触是重要的接触方式之一。GaN基器件欧姆接触的研究对于提高器件的性能具有重要的意义。二、研究现状GaN基器件欧姆接触的研究已经得到了广泛的关注,国内外学者已经开展了大量的研究。目前,研究结果表明,GaN基材料和器件制备的过程中,制备条件、材料缺陷以及掺杂方式等因素均对欧
GaN基器件欧姆接触的研究的任务书.docx
GaN基器件欧姆接触的研究的任务书任务名称:GaN基器件欧姆接触的研究任务描述:GaN材料因其优异的电学性能,在高功率和高速电子器件中具有广泛的应用前景。然而,GaN表面与金属电极接触的问题一直是制约其应用的瓶颈。为了克服这一问题,欧姆接触技术被广泛使用,但是仍然存在一些挑战和难点,例如界面反应、晶体结构匹配等。因此,本任务旨在研究GaN基器件的欧姆接触问题。任务目标:1.系统研究GaN材料与金属电极之间的欧姆接触问题,探究欧姆接触的形成机制。2.研究欧姆接触过程中GaN材料表面与金属电极之间的界面反应及
GaN基欧姆接触及AlGaNGaN HEMT器件研究的中期报告.docx
GaN基欧姆接触及AlGaNGaNHEMT器件研究的中期报告本研究的中期报告主要集中在GaN基欧姆接触和AlGaNGaNHEMT器件的研究上。以下是具体内容:1.GaN基欧姆接触研究在GaN基欧姆接触研究中,我们通过原子层沉积(ALD)技术制备了镍/钛双金属欧姆接触,并检测了不同温度下接触的电学性能。结果表明,该接触在200℃时具有最佳的欧姆接触性能,并且在高温下也具有稳定性,这对于高温应用具有重要意义。2.AlGaNGaNHEMT器件研究我们还研究了AlGaNGaNHEMT器件的制备工艺和电学性能。采用
Si基GaN异质结构无金欧姆接触研究的开题报告.docx
Si基GaN异质结构无金欧姆接触研究的开题报告摘要随着半导体技术的不断发展,Si基GaN异质结构作为一种新型半导体器件越来越受到人们的关注。在该异质结构中,金属欧姆接触是设备性能的关键因素之一。然而,Si基GaN异质结构中的金属欧姆接触不如GaN基异质结构中的金属欧姆接触稳定。因此,本文拟对Si基GaN异质结构无金欧姆接触进行研究,探究其相关机理,为异质结构的应用提供参考。关键词:Si基GaN异质结构;金属欧姆接触;稳定性;机理。AbstractWiththecontinuousdevelopmentof
GaN基HEMT材料及器件研究的开题报告.docx
GaN基HEMT材料及器件研究的开题报告一、选题背景高电子迁移率晶体管(HEMT)是一种应用广泛的高频器件,由于它具有高增益、高速度、低噪声等优点,在通信系统、雷达、卫星通信等领域得到了广泛应用。GaN基HEMT作为一种新型的高频器件,具有更高的增益、更高的工作频率和更低的噪声系数等优点,因此在新一代无线通信技术和雷达系统中具有重要的应用前景。二、研究内容本课题拟从以下几个方面开展研究:1、GaN基HEMT材料制备:通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺在GaN衬底上生长AlGaN/GaN异质结构,制