2022年半导体设备行业深度报告.docx

2022年半导体设备行业深度报告1.中国大陆晶圆厂进展：半导体设备行业扩产持续2021年全球半导体设备市场规模首破千亿美元，中国大陆占约29%达到全球第一。根据SEMI报告，2021年全球半导体制造设备销售额激增，同比增加44%达到1026亿美元的历史新高，SEMI预计到2022年将扩大到1140亿美元。近年来，在芯片短缺及本身半导体产业加速发展的推动下，中国大陆正在加速扩大产能。据SEMI统计，2021年国内12英寸晶圆厂总产能约为115万片/月，SEMI预计接下来几年产能将会持续扩大，2022年12英寸晶圆厂重点项目年新增产能超20万片/月，2023年中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储等重点项目可能会带来更多新增产能。2021年中国大陆半导体设备市场销售额增长58%，达到296亿美元，占全球市场约28.9%，再次成为半导体设备的最大市场，这也是中国市场连续第四年增长。国内主要下游晶圆厂扩产进展更新：我们预计2022~2023年中芯国际、合肥长鑫、华虹集团、长江存储均为扩产主力。按照计划来看，国内近些年较快扩产的主要本土厂商包括长江存储、中芯国际、合肥长鑫、华虹集团（包括华虹无锡、华虹宏力、华力微、华力集成等）；各厂主要扩产计划梳理如下：1）长江存储：3DNANDFlash存储器国内龙头IDM，三期总产能规划30万片/月。长江存储一期项目于2018年投产，2019年产能达到2万片/月，2020年扩产至约5万片/月，我们预计一期结束2022年有望达到10万片/月产能，二期土建已于2020年6月开工，加上未来三期项目合计产能规划共30万片/月。2）中芯国际：中国大陆晶圆代工龙头，深圳、北京京城、上海东方项目依次扩产，已披露产能规划未来有望新增约40万片/月。我们预计2022年下半年深圳12英寸（满产将达4万片/月，现洁净室已就绪）、北京中芯京城项目有望从零起步产能爬坡，上海临港（中芯东方）厂房于2022年初已经动工，有望于2023年上半年建成。2023年京城厂产能有望持续爬坡（一期满产将达10万片/月，总计两期20万片/月）、临港厂房建成并有望进入产能爬坡（满产10万片/月）。此外8寸方面，天津、深圳、上海厂均有继续扩产空间；在12英寸先进制程（14nm）方面，若后续设备获取顺利，上海中芯南方厂区还有继续扩产可能，现有一期洁净室支持3.5万片/月（现产能1.5万片/月），预留空地支持二期新增3.5万片/月产能。3）华虹无锡：12英寸成熟制程头部厂商，2022年持续扩产，新项目有望上马，有望扩张10万片以上月产能。我们预计华虹无锡一期（Fab7）产能从2022年6.5万片/月扩张至约9.5万片/月（12英寸），2022年底有望开始新建二期（Fab9），公司预计产能规模将超过一期（Fab7）。我们预计2023年二期土建并开始采购设备。4）华力集成：12英寸先进制程头部厂商，后续有望新建Fab8。我们预计产能逐步扩张至满产4万片/月。根据华虹集团2021全球供应商年会新闻稿，华力于2021年启动建设Fab8，新增约4万片/月先进制程产能。5）长鑫存储：DRAM存储器国内龙头IDM，三期总产能规划37.5万片/月。我们预计产能将从2021年初的4万片/月扩张至2022~2023年12.5万片/月，同时2022~2023年有望启动二期建设（12.5万片/月）。长鑫北京项目厂房已建成，亦有望进入扩产阶段。部分晶圆厂完成招标情况进展：从2022年1~6月国内部分晶圆厂完成招标情况来看，华虹无锡/上海积塔分别完成197/201台工艺设备招标，贡献了统计范围内83%的招标数量，福建晋华/时代电气分别完成25/24台工艺设备招标，上述四家厂商贡献了统计范围内90%的招标数量。长江存储在2022年1~6月暂未披露招标情况。1~6月，统计范围内晶圆厂分别完成招标36/83/63/138/90/68台工艺设备招标，月度之间分布较为均匀。2.设备厂商中标更新：半导体有望加快国内在半导体设备各细分领域涌现出一批优秀公司。由于半导体设备种类繁多，制造原理各异，在各细分领域中已形成具备一定规模和替代技术实力的国产细分龙头厂商，但与海外厂商相比，国内企业技术实力与收入体量相差仍大。国内厂商中，包括北方华创、中微公司、盛美上海等厂商已进行横向平台化布局，包括屹唐股份、拓荆科技、华海清科、芯源微、至纯科技、精测电子、中科飞测、烁科中科信等公司在国内细分领域领先。设备厂商中标情况更新：根据我们统计，北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科、芯源微等公司2022年1~6月分别中标62/15/15/12/10/27台工艺设备，数量分别达到2021年全年的58%/79%/65%/44%/56%/123%，各月份之间分布不均。由于招标统计范围仅覆盖部分晶圆厂，部分大