泛半导体直写光刻设备行业-芯碁微装研究报告:直写光刻龙头企业.docx
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泛半导体直写光刻设备行业-芯碁微装研究报告:直写光刻龙头企业1.国内激光直写光刻设备龙头公司合肥芯碁微电子装备股份有限公司(芯碁微装)成立于2015年,公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产,主要产品包括PCB直接成像及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其它激光成像设备,产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。PCB激光直写成像设备技术领先,积极布局泛半导体直写光刻设备。在PCB领域,芯碁微装提供全制程高速量产型的直写成像设备,最小线宽涵盖6μm-75μm
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