一种内喷液旋转阴极掩膜电解加工方法及实现装置.pdf
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一种内喷液旋转阴极掩膜电解加工方法及实现装置.pdf
本发明公开了一种内喷液旋转阴极掩膜电解加工方法及实现装置,属于电解加工技术领域。包括回转工作台、端盖、回转工件、掩膜板、螺钉、内喷液阴极、电主轴、绝缘圆筒、垫片、压环,其特点在于带有叶序分布通液孔的内喷液阴极与覆盖掩膜板的回转工件作转动同时作相对往复的线性运动,能够消除电场边缘效应、减小电解液对掩膜板的侧向冲刷,提高掩膜电解加工的定域性和加工一致性;内喷液旋转阴极与不同形状掩膜板相互匹配,能够适用于回转工件表面微凹坑、微沟槽和微流道的高一致性加工,具较好的加工适应性。
一种曲面微结构柔性阴极掩膜电解加工方法及实现装置.pdf
本发明公开了一种曲面微结构柔性阴极掩膜电解加工方法及实现装置,属于电解加工技术领域。包括补液腔体、进液腔体、紧定螺钉、分液板、高回弹海绵、内六角螺钉、柔性阴极、掩膜板、工件,其特点在于将柔性阴极和高回弹海绵相结合,能够适应不同曲率曲面微结构的掩膜电解加工需求,突破了大面积曲面微结构难以电解加工的瓶颈问题;柔性阴极根据工件的曲面形状产生自适应形变、并且柔性阴极沿竖直方向作微量往复运动,对掩膜板的压紧贴合效果好,能够抑制掩膜电解加工的杂散腐蚀、强化加工区域传质、消除曲面微结构的加工缺失;通过在补液腔体内部通入
一种移动掩膜微细电解加工装置及方法.pdf
本发明涉及一种移动掩膜微细电解加工装置及方法,包括电极丝、电极帽、电极座、支架、电解液进/出口和掩膜板;电极丝固定在电极帽上,电极帽通过螺纹联接固定在电极座上,电极座安装在支架上,支架固定在加工机床上,电极座可以在支架内上下滑动;掩膜板固定在电极座下端面,靠电极帽和电极座的重力作用将掩膜板压紧贴合在所加工工件表面,通过电解液进/出口完成电解液循环,排出电解加工产物。本发明能够通过单孔掩膜实现复杂微结构图案的刻蚀加工,通用性高、成本低、结构简单、装配使用方便,解决了加工不同微结构需要制备大量掩膜板的难题,尤
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本发明公开了一种表面微结构多功能射流掩膜电解加工方法及实现装置,属于电解加工技术领域。包括有机玻璃腔体、十字槽盘头螺钉、不锈钢套管、多孔阴极、通液管、管接头、密封垫、掩膜板、工件、安装板,其特点在于通过更换不锈钢套管和多孔阴极,在同一工艺装置上实现固定阴极射流掩膜电解加工模式和扫描阴极射流掩膜电解加工模式,能够满足表面微结构的高一致性掩膜电解加工需求、降低工艺装置设计制造成本;在固定阴极射流掩膜电解加工模式下,能够实现电解液正向流动和反向流动,适用于不同精度要求表面微结构的加工。