内容提供者
一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器.pdf
2023-06-28
10金币
450KB
11页
是翠****ng
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共11页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器.pdf
本发明公开了一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器结构简单，尺寸小，成本低，检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高，适合于推广使用。
2023-06-28
10
450KB
一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器及其制备方法.pdf
本发明公开了一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器及其制备方法，传感器包括三个自上而下依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底；第二电极由中心设引出孔的引出极构成；第三电极由板面设盲孔的收集极构成；三个电极通过绝缘支柱隔离。方法包括：制作三个电极的掩模板、清洗硅片，溅射金属掩模；刻蚀金属掩模和图形、去除掩模、清洗硅片；溅射多层金属膜，制作金焊盘；丝网印刷绝缘浆料或粘接聚合物绝缘条；在第一电极的基底上生长或丝网印刷碳纳米管薄膜，再将基底粘接在第一电极内侧表面；将
2023-06-28
10
506KB
碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器.pdf
本发明公开了一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器，包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器结构简单，尺寸小，成本低，检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高，适合于推广使用。
2023-06-28
10
435KB
碳纳米管薄膜三电极氢气传感器及其浓度测量方法.pdf
本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极氢气传感器及其浓度测量方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)将本发明不同极间距的氢气传感器、温度传感器以及湿度传感器置于待测氢气中；2)在电极上施加电压；3)测量各传感器离子流值；4)测得值与氢气浓度、温度和湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建氢气浓度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立氢气浓度测量模型；6)传感器实测值
2023-06-28
10
427KB
碳纳米管薄膜三电极乙烯传感器及其浓度测量方法.pdf
本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极乙烯传感器及其浓度测量方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)将本发明不同极间距的乙烯传感器、温度传感器以及湿度传感器置于待测乙烯中；2)在电极上施加电压；3)测量各传感器离子流值；4)测得值与乙烯浓度、温度、湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建乙烯浓度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立乙烯浓度测量模型；6)传感器实测值
2023-06-28
10
412KB