碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器.pdf
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碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器.pdf
本发明公开了一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器,包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成;第三电极由板面设有盲孔的收集极构成;该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器结构简单,尺寸小,成本低,检测气体灵敏度高,线性度好,准确度高,适合于推广使用。
一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器及其制备方法.pdf
本发明公开了一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器及其制备方法,传感器包括三个自上而下依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成;第三电极由板面设有盲孔的收集极构成;三个电极通过绝缘支柱隔离。方法包括:分别制作三个电极的掩模板,清洗硅片,溅射金属掩模;刻蚀金属掩模和图形、去除掩模、清洗硅片;溅射多层金属膜,制作金焊盘;丝网印刷绝缘浆料或者粘接聚合物绝缘条;在第一电极内侧面金属膜基底上生长或者丝网印刷碳纳米管薄膜;将
碳纳米管薄膜电离式气体湿度传感器及其湿度测量方法.pdf
本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式气体湿度传感器及其湿度测量方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置气体湿度传感器;2)在电极上施加电压;3)测量传感器输出离子流值;4)测得值与气体湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建气体湿度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立气体湿度测量模型;6)传感器实测值输入测量模型,获得气体湿度准确测量值。该气体湿度传感
碳纳米管薄膜电离式传感器及两组份气体浓度的检测方法.pdf
本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式传感器及两组份气体浓度检测方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置多个不同极间距传感器;2)在电极上施加电压;3)测量各传感器离子流值;4)测得值与两组份气体浓度、温度和湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建两组份气体浓度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立两组份混合气体浓度测量模型;6)传感器实测值输入测量模型,
碳纳米管薄膜电离式传感器及其检测单一气体浓度的方法.pdf
本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式传感器及其检测单一气体浓度的方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置三个不同极间距传感器;2)在电极上施加电压;3)测量各传感器离子流值;4)测得值与单一气体浓度、温度、湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建气体浓度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立单一气体浓度准确测量模型;6)传感器实测值输入测量模型,获得单一