一种盲孔的制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105513973A(43)申请公布日2016.04.20(21)申请号201610094996.6(22)申请日2016.02.19(71)申请人信利光电股份有限公司地址516600广东省汕尾市市区工业大道信利工业城一区第15栋(72)发明人朱得菊吴德生(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人王宝筠(51)Int.Cl.H01L21/48(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种盲孔的制作方法(57)摘要本发明提供的一种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法包括：提供一基板，所述基板包括：相对设置的第一表面以及第二表面；在所述第一表面形成掩膜层；所述掩膜层包括：用于形成盲孔的镂空区域；对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔；当蚀刻完成后，去除所述掩膜层。该盲孔的制作方法可以解决所述基板因机械外力造成损伤而导致强度不高的问题。CN105513973ACN105513973A权利要求书1/2页1.一种盲孔的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板，所述基板包括：相对设置的第一表面以及第二表面；在所述第一表面形成掩膜层，在所述第二表面形成保护层；其中，所述掩膜层包括：用于形成盲孔的镂空区域；对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔；其中，所述盲孔为深度小于所述基板厚度的凹槽；当蚀刻完成后，去除所述掩膜层。2.根据权利要求1所述的盲孔的制作方法，其特征在于，所述在所述第一表面形成掩膜层，在所述第二表面形成保护层包括：在所述第二表面涂覆抗蚀刻油层；在所述第一表面以及所述抗蚀刻油层表面涂覆光刻胶；对位于所述第一表面以及位于所述抗蚀刻油层表面的光刻胶进行曝光，其中，位于所述第一表面的光刻胶采用设定模具进行曝光；对所述光刻胶层进行固化处理后，再进行显影处理，清洗掉所述第一表面上对应所述镂空区域的光刻胶。3.根据权利要求2所述的盲孔的制作方法，其特征在于，所述进行蚀刻包括：将所述基板放入蚀刻试剂中设定时间，对所述基板进行蚀刻，在所述基板对应所述镂空区域的位置形成预设深度的凹槽，以形成所述盲孔，所述预设深度小于所述基板的厚度。4.根据权利要求3所述的盲孔的制作方法，其特征在于，当所述基板面积超过预设尺寸时，所述掩膜层包括多个镂空区域；所述将所述基板放入蚀刻试剂中设定时间进行蚀刻前包括：将所述基板分割为多个设定面积的单元结构，每一所述单元结构的掩膜层具有至少一所述镂空区域；采用所述蚀刻试剂对所述单元结构进行蚀刻，形成具有盲孔的面板。5.根据权利要求3所述的盲孔的制作方法，其特征在于，当所述基板面积小于预设范围时，所述掩膜层包括多个镂空区域；对所述镂空区域进行蚀刻包括：对所述基板进行蚀刻，形成盲孔；将蚀刻后的基板分割为多个至少具有一个所述盲孔的面板。6.根据权利要求4或5所述的盲孔的制作方法，其特征在于，还包括：对所述面板进行钢化。7.根据权利要求3所述的盲孔的制作方法，其特征在于，所述基板是玻璃板。8.根据权利要求7所述的盲孔的制作方法，其特征在于，所述蚀刻试剂为氢氟酸。9.根据权利要求1所述的盲孔的制作方法，其特征在于，还包括：对所述盲孔进行点抛光。10.一种盖板，其特征在于，包括：基板以及设置在所述基板表面的盲孔，所述盲孔为深度小于所述基板厚度的凹槽。11.一种指纹检测面板，其特征在于，包括：盖板，所述盖板包括：基板以及设置在所述基板表面的盲孔，所述盲孔为深度小于所述2CN105513973A权利要求书2/2页基板厚度的凹槽；指纹检测模组设置在所述盲孔内。12.一种电子设备，其特征在于，包括：如权利要求11所述的指纹检测面板。3CN105513973A说明书1/6页一种盲孔的制作方法技术领域[0001]本发明涉及化学技术领域，更具体地说，涉及一种盲孔的制作方法。背景技术[0002]随着科学技术的发展，指纹检测被广泛的应用到人们的日常生活以及工作中，为人们的日常生活以及工作带来了巨大的便利，成为人们日常生活以及工作中不可或缺的重要工具。[0003]一般的，指纹检测模组安装在设置有通孔的玻璃基板上，但是玻璃基板上形成设置指纹检测模组的通孔会影响玻璃基板的机械强度。发明内容[0004]为解决上述问题，本发明提供了一种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法可以解决所述基板因机械外力造成损伤而导致强度不高的问题。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：[0006]一种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法包括：[0007]提供一基板，所述基板包括：相对设置的第一表面以及第二表面；[0008]在所述第一表面形成掩膜层，在所述第二表面形成保护层；其中，所述掩膜层包括：用于形成盲孔的镂空区域；[0009]对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔；其中，所述盲孔