一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106711270A(43)申请公布日2017.05.24(21)申请号201710012296.2(22)申请日2017.01.09(71)申请人福建农林大学地址350002福建省福州市仓山区上下店路15号(72)发明人郑清洪陈礼辉欧阳新华黄六莲杨海洋(74)专利代理机构福州智理专利代理有限公司35208代理人王义星(51)Int.Cl.H01L31/09(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法(57)摘要本发明公开一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法，具体是指利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料，将其作为日盲紫外光的光敏材料，将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上，再结合掩模和真空镀膜方法在氧化镓微米带的两端制备金属电极，最终制备获得柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。本发明首次利用柔性的氧化镓微米带材料结合柔性衬底制备出柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器，该器件具有针对日盲紫外光的特征响应和柔性可弯曲的特点。柔性探测器件具有重复弯曲可恢复性，可以应用于可穿戴探测设备、弯曲屏交互设备、仿生组织等领域；可以大幅提高日盲光电探测系统的便携性、设置及设计的自由度。CN106711270ACN106711270A权利要求书1/1页1.一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料；2）将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上充当日盲紫外光的光敏材料；3）再结合掩模和真空镀膜方法在已转移到柔性衬底上氧化镓微米带的两端制备金属电极，最终制备获得柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。2.如权利要求1所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法，其特征在于步骤1）的生长氧化镓微米带材料的气相沉积法为物理气相沉积法或化学气相沉积法，生长设备为高温管式炉。3.如权利要求1所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法，其特征在于步骤2）的氧化镓微米带材料转移到的柔性衬底为聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚碳酸酯（PC）、聚氯乙烯（PVC）、聚丙烯（PP）或聚乙烯（PE）塑料薄片。4.如权利要求1所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法，其特征在于步骤3）的氧化镓微米带的两端制备的金属电极为Au、Ag、Ti、Ni、Cr或Al的单层电极或它们组合的复合层电极。5.如权利要求1所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法，其特征在于所述金属电极的形状和尺寸定义的掩模技术为金属掩模版技术或光刻掩模技术。6.如权利要求1或4所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法，其特征在于所述金属电极的真空镀膜方法为磁控溅射镀膜方法、电子束蒸发镀膜方法或热蒸发镀膜方法。7.权利要求1或4所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法，其特征在于所述金属电极厚度为50~1000nm。8.权利要求1-7任一所述的制备方法制得的柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。2CN106711270A说明书1/4页一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及一种日盲紫外光电探测器及其制备方法，尤其是涉及一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法。背景技术[0002]大气层对200-280nm紫外波段的太阳光具有强烈的吸收，200-280nm波段的光称为日盲紫外光。大气层对日盲紫外光的吸收为人造日盲紫外信号的检测提供一种天然的低背景窗口。日盲紫外光电探测器是指对200-280nm的日盲光具有特征响应，而对280-800nm的紫外光和可见光不响应的紫外探测器（RikiyaSuzuki,ShinjiNakagomi,andYoshihiroKokubuna,ApplliedPhysicsLetters,2011,98:131114）。目前，日盲紫外探测器已经被广泛应用于导弹预警、高压线电晕探测、医疗诊断、近地保密通讯等领域。传统的日盲紫外光电探测器都是利用刚性衬底上生长的半导体薄膜制备的，例如基于蓝宝石衬底上生长的AlGaN三元合金薄膜，或石英衬底上生长的MgZnO三元合金薄膜，因此缺乏可弯曲的特性。[0003]随着人类对电子设备需求的改变，电子设备内部的元件也需要进行改变。现如今，人类已经步入一个可穿戴设备的时代，而这类设备需要的是柔性和新的用户界面。电子器件的可弯曲特性可以大幅提高电子设备的便携性、设置及设计的自由度。柔性的日盲光电探测器具有可扭转和弯曲特性，可以大大拓展了其应用范围，包括可穿戴设备、人造仿生组织等新兴领域。然而到目前为止，很少有关于柔性日盲紫外光电探测器的报道。[000